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電容壓力計XacTorr®系列

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地天津市

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更新時間：2026-02-04 14:14:35瀏覽次數(shù)：28次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：1170條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：李先生

產(chǎn)品簡介

?的 Mark-IV 傳感器提供不用于壓力測量的表面區(qū)域 – 可用于累積顆粒和可壓縮蒸汽。因此減少了儀表重新調(diào)零的工作、延長了傳感器壽命并且不會帶來傳感器漂移風(fēng)險。此外，還有快速響應(yīng)傳感器可供選擇，用于提供高級閉環(huán)控制性能。

詳細(xì)介紹

電容壓力計XacTorr® 系列

 

        的壓力計技術(shù)可為您提供持久的測量精度保障


        每種真空室工藝均需要精確的 Torr 水平保障以維持目標(biāo)過程效率。布魯克斯儀器的電容壓力計采用行業(yè)的高級傳感器設(shè)計，能夠提升測量可靠性、限度減少漂移、耐隔膜污染并能夠使熱效應(yīng)最小化并且由于布魯克斯電容壓力計產(chǎn)品均為全數(shù)字化設(shè)備，因此在寬動態(tài)范圍內(nèi)具有的精度。結(jié)果表明布魯克斯電容壓力計系列產(chǎn)品非常可靠，適用于各種真空度測量應(yīng)用。


關(guān)鍵應(yīng)用

  • 超導(dǎo)體制造

  • 薄膜沉積工藝 – 玻璃、網(wǎng)格和光學(xué)涂層

  • 凍干易腐材料

  • 適用于醫(yī)療儀器的高科技涂層（手術(shù)儀器、牙鉆等）


選擇自身項目要求的電容壓力計。

 

限度降低漂移和熱效應(yīng)。限度優(yōu)化真空處理結(jié)果


型號 CMX0 / CMX1 / CMX2 / CMX3


        使真空依賴型工藝的效率和性能：選擇布魯克斯儀器的 XacTorr® 系列數(shù)字式真空電容壓力計。XacTorr® 系列設(shè)備同時擁有各種業(yè)內(nèi)的功能技術(shù)，可提升測量可靠性、限度減少漂移、耐隔膜污染并能夠使熱效應(yīng)最小化。


        的 Mark-IV 傳感器提供不用于壓力測量的表面區(qū)域 – 可用于累積顆粒和可壓縮蒸汽。因此減少了儀表重新調(diào)零的工作、延長了傳感器壽命并且不會帶來傳感器漂移風(fēng)險。此外，還有快速響應(yīng)傳感器可供選擇，用于提供高級閉環(huán)控制性能。


        結(jié)果：超精確、可重復(fù)并且高效的真空度測量，可確保每次對倉室壓力進(jìn)行抽真空時都能夠準(zhǔn)確使其達(dá)到工藝所需的目標(biāo) Torr 值以實現(xiàn)潔凈、無污染生產(chǎn)。

 

特點

  • 適用于 0.10 Torr - 1000 Torr 過程真空度范圍

  • 有多種精度水平可供選擇

  • Mark IV 傳感器

  • 數(shù)字化架構(gòu)可實現(xiàn)超高精確度的寬動態(tài)范圍操作

  • 雙區(qū)域溫控功能可提高測量穩(wěn)定性和可重現(xiàn)性

  • 多段數(shù)字校準(zhǔn)功能可提供高級窗口顯示已知精度

  • 智能觸控式零點調(diào)節(jié)

  • 可單獨輕松訪問的診斷維護(hù)端口

  • DeviceNet® 和模擬通信選件


優(yōu)勢

  • 漂移較低，能夠為過程氣體沉積提供的保護(hù)

  • 無需使用手動電位計，不存在電子漂移

  • 快速預(yù)熱、閉閥溫度控制并能夠根據(jù)變化做出快速響應(yīng)

  • 多段校準(zhǔn)功能可提供高級窗口顯示已知精度以及對環(huán)境溫度影響的實時補償

  • 如果壓力過高或者未達(dá)到目標(biāo)溫度則無法調(diào)零

  • 診斷端口允許用戶在設(shè)備運行期間提供監(jiān)視和數(shù)據(jù)采集功能，實現(xiàn)倉室和工具匹配以及“實時"高級故障排除


應(yīng)用

  • 超導(dǎo)體制造

  • 薄膜沉積工藝 – 玻璃、網(wǎng)格和光學(xué)涂層

  • 凍干易腐材料

  • 適用于醫(yī)療儀器的高科技涂層（手術(shù)儀器、牙鉆等）

 

型號

1.png

 

規(guī)格

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性能

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機(jī)械

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電氣

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認(rèn)證和批準(zhǔn)

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