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上海弘竣新能源材料有限公司


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SiC石墨盤

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品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

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更新時間:2026-02-07 13:12:12瀏覽次數(shù):33次

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產(chǎn)品簡介

石墨托盤技術(shù)1)用于LED外延片加工石墨頂板;2)擋板結(jié)構(gòu)內(nèi)部晶片邊緣休息;3)擋板與晶片襯底到兩個層次之間的互補(bǔ)關(guān)系;4)保持擋板晶片襯底邊緣重合邊構(gòu)成充分循環(huán)

詳細(xì)介紹

 石墨托盤

技術(shù)
1)用于LED外延片加工石墨頂板;
2)擋板結(jié)構(gòu)內(nèi)部晶片邊緣休息;
3)擋板與晶片襯底到兩個層次之間的互補(bǔ)關(guān)系;
4)保持擋板晶片襯底邊緣重合邊構(gòu)成充分循環(huán)。

 

功能
1)較低的熱膨脹系數(shù)
2)thermak導(dǎo)電性更好
3)穩(wěn)定的化學(xué)perfermance
4)更好的耐蝕性
5)較強(qiáng)的導(dǎo)電性

 

規(guī)范
數(shù)量單位
體積密度1.85克/立方厘米
比電阻11 - 14 uΩm
抗壓強(qiáng)度90 mpa
撓曲強(qiáng)度40 mpa
肖氏硬度60
灰分500 ppm
平均粒度20 um
膨脹系數(shù)4.5 gte
彈性模量11平均績點(diǎn)


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