• 簡介

• TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀是常州同惠電子根據(jù)當前半導(dǎo)體功率器件發(fā)展趨勢，針對半導(dǎo)體材料及功率器件設(shè)計的分析儀器。

  儀器采用了一體化集成設(shè)計，二極管、三極管、MOS管及IGBT等半導(dǎo)體功率器件寄生電容、CV特性可一鍵測試，無需頻繁切換接線及設(shè)置參數(shù)，單管功率器件及模組功率器件均可一鍵快速測試，適用于生產(chǎn)線快速測試、自動化集成。
  

  CV曲線掃描分析能力亦能滿足實驗室對半導(dǎo)體材料及功率器件的研發(fā)及分析。

  儀器設(shè)計頻率為1kHz-2MHz，VGS電壓可達±40V，VDS電壓可達±200V/±1500V/±3000V，足以滿足大多數(shù)功率器件測試。

  

  功能特點

  
  

  A.一體化測試，集成度高、體積小、效率高

  

  一臺儀器內(nèi)置了LCR數(shù)字電橋、VGS電壓源、VDS電壓源、高低壓切換矩陣以及上位機軟件，將復(fù)雜的接線、繁瑣的操作集成在支持電容式觸摸的Linux系統(tǒng)內(nèi)，操作更簡單。特別適合產(chǎn)線快速化、自動化測試。

  B.單管器件測試，10.1寸大屏，四種寄生參數(shù)同屏顯示，讓細節(jié)一覽無遺

  MOSFET或IGBT最重要的四個寄生參數(shù)：Ciss、Coss、Crss、Rg，Cies、Coes、Cres、Rg均可一鍵測試，10.1寸大屏可同時將測量結(jié)果、等效電路圖、分選結(jié)果等重要參數(shù)同時顯示，一目了然。

  一鍵測試單管器件器件時，無需頻繁切換測試腳位、測量參數(shù)、測量結(jié)果，大大提高了測試效率。

  

  

  C.列表測試，多個、多芯、模組器件測量參數(shù)同屏顯示

  TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀支持最多6個單管器件、6芯器件或6模組器件測試，所有測量參數(shù)通過列表掃描模式同時顯示測試結(jié)果及判斷結(jié)果。

  

  D.曲線掃描功能（選件）

  在MOSFET的參數(shù)中，CV特性曲線也是一個非常重要的指標，如下圖

  

  TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀支持C-V特性曲線分析，可以以對數(shù)、線性兩種方式實現(xiàn)曲線掃描，可同時顯示多條曲線：同一參數(shù)、不同Vg的多條曲線；同一Vg、不同參數(shù)多條曲線。

  

  E.的接觸檢查（Contact）功能，提前排除自動化測試隱患

  

  

  F.的快速通斷測試（OP_SH）,排除損壞器件

  在半導(dǎo)體器件特性測試時，由于半器件本身是損壞件，特別是多芯器件其中一個芯已經(jīng)損壞的情況下，測試雜散電容仍有可能被為合格，而半導(dǎo)體器件的導(dǎo)通特性才是最重要的特性。

  因此，對于本身導(dǎo)通特性不良的產(chǎn)品進行C-V特性測試是沒有必要的，不僅僅浪費了測量時間，同時會由于C-V合格而混雜在良品里，導(dǎo)致成品出貨后被退回帶來損失.

  TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀提供了快速通斷測試（OP_SH）功能,可用于直接判斷器件本身導(dǎo)通性能。

  

  G.模組式器件設(shè)置，支持定制

  針對模組式器件如雙路（Dual）MOSFET、多組式IGBT，有些器件會有不同類型芯片混合式封裝;TH510系列CV特性分析儀針對此情況做了優(yōu)化，常見模組式芯片Demo已內(nèi)置，特殊芯片支持定制.

  

  
  

  H.簡單快捷設(shè)置

  

  I.10檔分選及可編程HANDLER接口

  

  J.支持定制化，智能固件升級方式

  同惠儀器對于客戶而言是開放的，儀器所有接口、指令集均為開放設(shè)計，客戶可自行編程集成或進行功能定制，定制功能若無硬件更改，可直接通過固件升級方式更新。

  儀器本身功能*、BUG解決、功能升級等，都可以通過升級固件(Firmware)來進行更新，而無需返廠進行。

  固件升級非常智能，可以通過系統(tǒng)設(shè)置界面或者文件管理界面進行，智能搜索儀器內(nèi)存、外接優(yōu)盤甚至是局域網(wǎng)內(nèi)升級包，并自動進行升級

  

  K.獨特技術(shù)解決Ciss、Coss、Crss、Rg產(chǎn)線/自動化系統(tǒng)高速測試精度

  同惠電子在電容測試行業(yè)近30年的經(jīng)驗積累，得以在產(chǎn)線、自動化測試等高速高精度測試場合，都能保證電容、電阻等測試精度。

  常規(guī)產(chǎn)線測試，提供標準0米測試夾具，直插器件可直接插入進行測試，Ciss、Coss、Crss、Rg測試精度高。

  

  針對自動化測試，由于自動化設(shè)備測試工裝通常需要較長連接線，大多自動化設(shè)備生產(chǎn)商在延長測試線時會帶來很大的精度偏差，為此，同惠設(shè)計了獨特的2米延長線并內(nèi)置了2米校準，保證Ciss、Coss、Crss、Rg測試精度和0米測試夾具一致。

  

  L.半導(dǎo)體元件寄生電容知識

  在高頻電路中，半導(dǎo)體器件的寄生電容往往會影響半導(dǎo)體的動態(tài)特性，所以在設(shè)計半導(dǎo)體元件時需要考慮下列因數(shù)

  在高頻電路設(shè)計中往往需要考慮二極管結(jié)電容帶來的影響；MOS管的寄生電容會影響管子的動作時間、驅(qū)動能力和開關(guān)損耗等多方面特性；寄生電容的電壓依賴性在電路設(shè)計中也是至關(guān)重要，以MOSFET為例。

  

  M.標配附件

  

  
  

• 應(yīng)用

• ■ 半導(dǎo)體元件/功率元件

  二極管、三極管、MOSFET、IGBT、晶閘管、集成電路、光

  電子芯片等寄生電容測試、C-V特性分析

  ■ 半導(dǎo)體材料 晶圓切割、C-V特性分析

  ■ 液晶材料 彈性常數(shù)分析

  ■電容元件 電容器C-V特性測試及分析，電容式傳感器測試分析

  
  

• 技術(shù)參數(shù)

• 產(chǎn)品型號			TH511		TH512	TH513
  通道數(shù)			2（可選配4/6通道）			1
  顯示	顯示器		10.1英寸(對角線)電容觸摸屏
  	比例		16:9
  	分辨率		1280×RGB×800
  測量參數(shù)			Ciss、Coss、Crss、Rg，四參數(shù)任意選擇
  測試頻率	范圍		1kHz-2MHz
  	精度		0.01%
  	分辨率		10mHz 1.00000kHz-9.99999kHz
  			100mHz 10.0000kHz-99.9999kHz
  			1Hz 100.000kHz-999.999kHz
  			10Hz 1.00000MHz-2.00000MHz
  測試電平	電壓范圍		5mVrms-2Vrms
  	準確度		±（10%×設(shè)定值+2mV）
  	分辨率		1mVrms 5mVrms-1Vrms
  			10mVrms 1Vrms-2Vrms
  VGS電壓	范圍		0 - ±40V
  	準確度		1%×設(shè)定電壓+8mV
  	分辨率		1mV 0V - ±10V
  			10mV ±10V -±40V
  VDS電壓	范圍		0 - ±200V		0 - ±1500V	0 - ±3000V
  	準確度		1%×設(shè)定電壓+100mV
  輸出阻抗			100Ω，±2%@1kHz
  數(shù)學(xué)運算			與標稱值的偏差Δ，與標稱值的百分比偏差Δ%
  校準功能			開路OPEN、短路SHORT、負載LOAD
  測量平均			1-255次
  AD轉(zhuǎn)換時間（ms/次）			快速+：0.56ms(＞5kHz) 快速：3.3ms 中速：90ms 慢速：220ms
  準確度			0.5%（具體參考說明書）
  Ciss、Coss、Crss			0.00001pF - 9.99999F
  Rg			0.001mΩ - 99.9999MΩ
  Δ%			±（0.000% - 999.9%）
  多功能參數(shù)列表掃描	點數(shù)		50點，每個點可設(shè)置平均數(shù)，每個點可單獨分選
  	參數(shù)		測試頻率、Vg、Vd、通道
  	觸發(fā)模式		順序SEQ：當一次觸發(fā)后，在所有掃描點測量，/EOM/INDEX只輸出一次
  			步進STEP：每次觸發(fā)執(zhí)行一個掃描點測量，每點均輸出/EOM/INDEX，但列表掃描比較器結(jié)果只在最后的/EOM才輸出
  圖形掃描	掃描點數(shù)		任意點可選，最多1001點
  	結(jié)果顯示		同一參數(shù)、不同Vg的多條曲線；同一Vg、不同參數(shù)多條曲線
  	顯示范圍		實時自動、鎖定
  	坐標標尺		對數(shù)、線性
  	掃描參數(shù)觸發(fā)方式		Vg、Vd
  		單次	手動觸發(fā)一次，從起點到終點一次掃描完成，下個觸發(fā)信號啟動新一次掃描
  		連續(xù)	從起點到終點無限次循環(huán)掃描
  	結(jié)果保存		圖形、文件

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陜西環(huán)動聯(lián)科 作為專業(yè)的電測儀器供應(yīng)商，為您提供良好產(chǎn)品及技術(shù)支持的同時，更加關(guān)注您的設(shè)備是否正確使用和保養(yǎng)。因為正確的使用方法可以讓您每一次測試都能得到更加精準的測試結(jié)果，正確的保養(yǎng)可以讓您的工作伙伴為您服務(wù)更長，做出更多貢獻。