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VTC-200PV真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)

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北京鴻瑞正達(dá)科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品簡介：VTC-200PV真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡介： VTC-200PV 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng) 酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。本機(jī)可以對涂膜機(jī)腔室進(jìn)行抽真空，使樣品在真空的狀態(tài)下進(jìn)行涂膜，適用于在空氣中易氧化變質(zhì)的薄膜材料的使用，對腔體抽真空時(shí)采用樣品卡盤固定樣品。VTC-200PV 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)不對腔體抽真空工作時(shí)利用真空盤吸附的方式將樣品固定在樣品吸盤上，該設(shè)備可儲存 12 組程序，每組程序包含 6 個運(yùn)行階段。不同運(yùn)行階段設(shè)備轉(zhuǎn)數(shù)不同，使設(shè)備緩慢提升速度限速度，有利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜，且不會過多浪費(fèi)，節(jié)約材料。VTC-200PV 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)具有操作簡單、清理方便，體積小巧等優(yōu)點(diǎn)，主要應(yīng)用于各大專院校、科研院所的實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行薄膜的生成過程。

產(chǎn)品名稱	VTC-200PV 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)
產(chǎn)品型號	VTC-200PV
安裝條件	本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下，溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。
	1、水：設(shè)備配有進(jìn)出水口
	2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地
	3、氣：不需要
	4、工作臺：尺寸 600mm×600mm×700mm ，承重 50kg 以上

	5、通風(fēng)裝置：需要
主要特點(diǎn)	1 、設(shè)有 12 組程序，每組包含 6 個運(yùn)行階段，每段增減速率設(shè)置范圍：100—2000rpm/s,每段時(shí)間范圍： 0—60s。 2、樣品可采用真空吸附的方式進(jìn)行固定，也可采用粘結(jié)或夾持的方式進(jìn)行固定，操作簡便。 3、吸盤真空度可以達(dá)到-0.08MPa。 4、使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置，以減少偏心而造成的震動或飛片。 5、根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤，且更換方便簡單。 6 、電機(jī)采用 24V 直流無刷電機(jī)，無級調(diào)速，可靠性高，適應(yīng)性強(qiáng)，維修與保養(yǎng)簡單，噪音低，震動小，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，啟動快速穩(wěn)定，加速后運(yùn)行平穩(wěn)，可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。
	7 、當(dāng)用真空吸附方式固定樣品時(shí)采用無油雙杠真空泵，體積小巧、結(jié)構(gòu)簡單、操作容易、維護(hù)方便、不會污染環(huán)境等優(yōu)點(diǎn)。 8、可在惰性氣體氣氛（如 Ar 、N2 ）下進(jìn)行涂層 9、可在真空狀態(tài)下進(jìn)行涂層，此時(shí)需要用粘接基片或夾持基片的方式對被涂基片進(jìn)行固定。 10、腔體通體采用聚丙烯材質(zhì)，使用壽命更長，提高耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開裂性能。 11、全英文操作系統(tǒng)。
	12、具有開蓋保護(hù)功能，當(dāng)涂膜過程中或涂膜結(jié)束時(shí)打開上蓋后機(jī)器立刻迅速減速直到停止. 13、控制器采用控制箱，液晶顯示數(shù)值，更直觀可靠。
技術(shù)參數(shù)	1、電源： 220V 50HZ 2、功率： 350W/24V 3、轉(zhuǎn)速： 500rpm-6000rpm 4 、可儲存 12 組程序，每組程序包含 6 個運(yùn)行階段， 5、每段增減速率設(shè)置范圍： 100 rpm s—2000 rpm /s，每段時(shí)間范圍： 0-60s 6、吸盤規(guī)格：φ 100㎜ 7 、腔體真空度可達(dá) 1Torr（VRD-16 機(jī)械泵連續(xù)工作）

產(chǎn)品規(guī)格	尺寸：φ250mm×300mm；重量： 25kg
標(biāo)準(zhǔn)配件	1	真空吸盤φ100mm	1 個
	2	卡盤 2" 3" 4"	1 個
	3	無油真空泵	1 臺
	4	雙擊旋片真空泵 VRD-8	1 臺
	5	中心定位器	1 個
	6	滴膠注射器	1 個