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PCE-6V小型等離子清洗機(jī)

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更新時(shí)間：2026-05-16 11:48:45瀏覽次數(shù)：53次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品簡介：PCE-6V小型等離子清洗機(jī)集成了RF等離子體發(fā)生技術(shù)、計(jì)算機(jī)控制技術(shù)、軟件編程技術(shù)，采用氣體作為清洗介質(zhì)，有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對被清洗物帶來的二次污染

詳細(xì)介紹

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產(chǎn)品簡介： PCE-6V 小型等離子清洗機(jī)集成了 RF 等離子體發(fā)生技術(shù)、計(jì)算機(jī)控制技術(shù)、軟件編程技術(shù)，采  用氣體作為清洗介質(zhì)， 有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對被清洗物帶來的二次污染。工作時(shí)外接一臺真空泵， 清洗腔內(nèi)的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面， 可短時(shí)間內(nèi)清洗掉有機(jī)污染物， 清洗程度可達(dá)到分子  級。另外， 其樣品臺可選配加熱功能， 可加負(fù)偏壓， 用以實(shí)現(xiàn)離子蝕刻。此外， 其可在特定條件下根據(jù)需  要改變某些材料表面的性能。


產(chǎn)品型號

PCE-6V 小型等離子清洗機(jī)

主要特點(diǎn)

1、采用氣體作為清洗介質(zhì)，避免了因液體清洗介質(zhì)對被清洗物帶來的二次污染。


2 、可短時(shí)間內(nèi)清洗掉有機(jī)污染物。


3 、清洗程度可達(dá)到分子級。


4 、可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。


5、清洗過程中的輝光放電可對某些特殊用途的材料加強(qiáng)粘附性、相容性和浸潤性，并可消 毒和殺菌。


6 、樣品臺可選配加熱功能，可加負(fù)偏壓，用以實(shí)現(xiàn)離子蝕刻。


7、廣泛應(yīng)用于光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、生命科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、 微觀流體學(xué)等領(lǐng)域。

技術(shù)參數(shù)

1 、電壓： AC220V    10A


2、消耗功率： <500W  （包括真空泵）


3 、RF 電源： 輸出功率 100W ，輸出頻率 13.56MHz





4、腔體： ?190mm×98mm


5、石英管： ?180mm×55mm ，壁厚 7mm


6、內(nèi)腔： ?165mm×55mm


7、清洗電極： ?120mm


8、樣品臺： ?150mm ，有效尺寸 ?140mm


9、樣品臺與電極間距： 15mm-50mm 可調(diào)


10、抽氣管： ?12mm


11、極限真空度： 0.1Pa


12、工作真空度： 60Pa-500Pa


13、氣路數(shù)量： 2 路（選裝）


14、流量控制器數(shù)量： 1 、2


15、流量顯示儀： 2 通道


16、氣路接口： ?6mm


17、加熱樣品臺： ?140mm ，加熱樣品溫度 RT-600℃±1℃（選裝）


18、冷卻水壓力： 0.2KPa-0.4KPa


19、工作環(huán)境： 溫度 5℃-35℃，濕度<80%  （相對濕度）不結(jié)露， 海拔高度 0-2000m

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸： 245mm×235mm×460mm  （不含真空泵），重量： 20kg  （不含真空泵）

可選配置

1、加熱樣品臺


2、流量控制器（量程 10 、50 、100 ，最多可增加 2 個(gè)通道）


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