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SE-L光譜橢偏儀03090804

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  橢偏儀

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北京鴻瑞正達(dá)科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品簡介：SE-L光譜橢偏儀是一款全自動高精度光譜橢偏儀，集眾多科技技術(shù)，采用行業(yè)前沿創(chuàng)新技術(shù)，配置全自動測量模塊

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡介： SE-L 光譜橢偏儀是一款全自動高精度光譜橢偏儀，集眾多科技技術(shù)，采用行業(yè)前沿創(chuàng)新技術(shù)，配置全自動測量模塊。通過橢偏參數(shù)、透射/反射率等參數(shù)的測量，快速實(shí)現(xiàn)光學(xué)參數(shù)薄膜和納米結(jié)構(gòu)的表征分析。SE-L 光譜橢偏儀廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體薄膜結(jié)構(gòu)：介電薄膜、金屬薄膜、高分子、光刻膠、硅、 PZT 膜，激光二極管 GaN 和AlGaN、透明的電子器件、平板顯示、光伏太陽能、功能性涂料、生物和化學(xué)工程、塊狀材料分析等領(lǐng)域。

產(chǎn)品型號

SE-L 光譜橢偏儀

主要特點(diǎn)

1、高精度自動測量光學(xué)橢偏測量解決方案

2、全自動變角、調(diào)焦等控制平臺，一鍵快速測量

3、軟件交互式界面配合輔助向?qū)皆O(shè)計(jì)，易上手、操作便捷

4、豐富的數(shù)據(jù)庫和幾何結(jié)構(gòu)模型庫，保證數(shù)據(jù)分析能力

5、采用氘燈和鹵素?zé)魪?fù)合光源，光譜覆蓋紫外到近紅外范圍

(193-2500nm)

6、高精度旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器調(diào)制、 PCRSA 配置，實(shí)現(xiàn)Psi/Delta光譜數(shù)據(jù)高速采

集

7、全自動橢偏測量技術(shù)，基于行業(yè)電機(jī)控制技術(shù)，全自動調(diào)整測量角

度，高精度控制樣件臺，實(shí)現(xiàn)樣件快速自動對準(zhǔn)找焦

8、頤光技術(shù)確保在寬光譜范圍內(nèi)，提供優(yōu)質(zhì)穩(wěn)定的各波段光譜

9、數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫、多種算法模型庫，涵蓋了目前絕大部分的光電材料

技術(shù)參數(shù)

1、自動化程度：自動變角

2、應(yīng)用定位：自動型

3、基本功能： Psi/Delta、N/C/S、R/T 等光譜

4、分析光譜： 380-1000nm(可擴(kuò)至 193-2500nm)

5、單次測量時(shí)間： 0.5-5s

6、重復(fù)性測量精度： 0.01nm

7、光斑大?。?/span> 大光斑 2-3mm,微光斑 200um

8、入射角調(diào)節(jié)方式：自動變角

9、入射角范圍： 45-90°

10、找焦方式：自動找焦

11、Mapping 行程：支持 100x100mm(可選配)

12、支持樣件尺寸：至 200mm

可選配置

波段選擇

V:380-1000nm

UV:245-1000nm

XN:210-1650nm

DN+:193-2500nm

角度選擇

自動:45-90°

其他選擇

	Mapping 選擇:100×100mm(供參考,按需定制) 溫控臺:室溫一 600℃(供參考,按需定制)
可選配件	1	溫控臺
	2	Mapping 擴(kuò)展模塊
	3	真空泵
	4	透射吸附組件