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行業(yè)產(chǎn)品

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北京鴻瑞正達(dá)科技有限公司


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多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)--GSL-LCD(控制面板為觸摸屏)20160805

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地北京市

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更新時(shí)間：2026-05-15 14:38:46瀏覽次數(shù)：71次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：436條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：黃皇

產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品簡介：GSL-LCD是一款多路質(zhì)量流量計(jì)控制系統(tǒng)，其質(zhì)量流量計(jì)和不銹鋼混氣罐都安裝在一個(gè)移動(dòng)柜里，移動(dòng)柜可以承重1000Lbs，所以在與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時(shí)，可將管式爐置于移動(dòng)柜上以節(jié)約空間

詳細(xì)介紹

 

 

img1

產(chǎn)品簡介： GSL-LCD 是一款多路質(zhì)量流量計(jì)控制系統(tǒng)，其質(zhì)量流量計(jì)和不銹鋼混氣罐都安裝在一個(gè)移動(dòng)柜里， 移動(dòng)柜可以承重 1000Lbs，所以在與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時(shí)，可將管式爐置于移動(dòng)柜上  以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設(shè)定和狀態(tài)顯示都集中在一 6"的觸摸屏上，同時(shí)可以實(shí)時(shí)查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。此款設(shè)備廣泛的用于材料界中CVD 實(shí)驗(yàn)和各種材料的退火實(shí)驗(yàn)。

 

產(chǎn)品型號

GSL-LCD(控制面板為觸摸屏）

技術(shù)參數(shù)

功能

雙通道

三通道

四通道

五通道

 

質(zhì) 子 流 量 控 制 器

工作溫度： 5~45ºC

壓力:3x106 Pa

精度: ±1.5% FS

線 性 : ± （ 0.5-1.5  ） %F.S.     重  復(fù)  精

度: ±0.2%F.S.

流量范圍:

一路:1~199 SCCM

二路:1~499 SCCM

注意： 其他流量范圍的 可定制，需額外費(fèi)用

工作溫度： 5~45 ºC

壓力: 3x106 Pa

精度: ±1.5% FS

線 性 : ± （ 0.5-1.5 ） %F.S.

重復(fù)精度: ±0.2%F.S. 流量范圍:

一路: 0~100 SCCM

二路: 1~199 SCCM

三路: 1~499 SCCM

注意： 其他流量范圍的 可定制，需額外費(fèi)用

工作溫度: 5~45 ºC

壓力:3x106 Pa

精度: ±1.5% FS

線 性 : ± （ 0.5-1.5 ） %F.S.     重  復(fù)  精

度: ±0.2%F.S.

流量范圍:

一路: 0~100 SCCM

二路: 1~199 SCCM

三路: 1~199 SCCM

四路: 1~499 SCCM

注意： 其他流量范圍的 可定制，需額外費(fèi)用

工作溫度: 5~45 ºC

壓力: 3x106 Pa

精度: ±1.5% FS

線性: ±（0.5-1.5）%F.S.

重復(fù)精度: ±0.2%F.S. 流量范圍:

一路: 0~100 SCCM

二路: 1~199 SCCM

三路: 1~199 SCCM

四路: 1~499 SCCM          五-九路可按照客戶要求 定制

產(chǎn)品規(guī)格

外形尺寸： 600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

輸入電源

AC 220V/50Hz 單相

功  率

23W

 

各通道的氣路設(shè)定和查看都集中在一 6"的觸摸屏上

 

RS485 通訊接口和 PC 控溫軟件可以連接到電腦上，進(jìn)行遠(yuǎn)程控制

 

 

PLC 觸摸屏

 

 

img3

機(jī)械壓力表

有一機(jī)械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接

量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)

針  閥

316 不銹鋼

通氣管道

內(nèi)部連接管道為 1/4”不銹鋼管

外部通氣管道為 1/4”聚四氟管

 

img4

混氣罐

Φ80X120mm

截止閥及配 件

316 不銹鋼針閥

Φ1/4” 不銹鋼管

 


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