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鄭州科探儀器設(shè)備有限公司


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超小型真空探針臺(tái)

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地鄭州市

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更新時(shí)間:2026-05-18 13:29:35瀏覽次數(shù):50次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

超小型真空探針臺(tái),迷你型探針臺(tái)只有手機(jī)大小,手動(dòng)調(diào)節(jié)探針,底部可透光,測(cè)試光譜

詳細(xì)介紹

超小型真空探針臺(tái),迷你型探針臺(tái)只有手機(jī)大小,手動(dòng)調(diào)節(jié)探針,底部可透光,測(cè)試光譜,

.探針臺(tái)與測(cè)試儀器配接后可用于集成電路芯片及各種晶體管芯的電參數(shù)測(cè)試及功能調(diào)試,適用于科研、新品試制及小批量生產(chǎn)的中間測(cè)試

溫度范圍: 77degK ~ 480degK
? 探針座數(shù)量: 4~6sets
? 寬敞的工作間距
? 針座精度10um
? 真空泵浦: 10^-3 torr (機(jī)械泵)/10^-6 torr(分子泵)
? 溫度控制器
? Thermo-couple @ certain position & Thermo-meter
? 50L氮?dú)馄?/span>
? 液態(tài)氮/氣態(tài)氮連接閥

組件:溫度可低至-190℃,;真空系統(tǒng)可選機(jī)械泵或分子泵系統(tǒng),真空度可達(dá)到10-3Tor。高低溫真空探針臺(tái)應(yīng)用:可應(yīng)用于低溫或高溫真空環(huán)境下被測(cè)樣品的電學(xué)性能測(cè)試分析,如:半導(dǎo)體/微電子,電子,機(jī)電,物理,化學(xué),材料,光電,納米,微機(jī)電/MEMS,生物芯片,航空航天等科學(xué)研究領(lǐng)域,

 

637862187380371355751.jpg

 

超小型真空探針臺(tái)KT-Z4019MRL4T

真空腔體

類型

高溫型室溫到350℃

高低溫型 室溫到350℃  室溫到-196℃

腔體材質(zhì)

304不銹鋼 6061鋁合金 可選

腔體內(nèi)尺寸

127mmX57mmX20mm

腔體外尺寸

150mmX80mmX32mm

腔體重量

不銹鋼材質(zhì) 約1.5KG     鋁合金材質(zhì) 約0.5KG

腔體上視窗尺寸

Φ42mm(可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離)

腔體抽氣口

KF16法蘭(其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接)

腔體真空測(cè)量口

KF16法蘭(其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接)

腔體進(jìn)氣口

6mm快擰 或 6mm快插

腔體冷卻方式

腔體水冷+上蓋氣冷

腔體水冷接口


腔體正壓

≤0.05MPa

腔體真空度

機(jī)械泵≤5Pa (5分鐘)  分子泵≤5E-3Pa(30分鐘)

樣品臺(tái)

樣品臺(tái)材質(zhì)

不銹鋼 銀銅合金 純銀塊

銀銅合金 純銀塊

樣品臺(tái)尺寸

26x26mm

樣品臺(tái)加熱方式

電阻加熱

電阻加熱 液氮制冷

樣品臺(tái)-視窗 距離

11mm(可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm)

樣品臺(tái)測(cè)溫傳感器

PT100型熱電阻

樣品臺(tái)溫度

室溫到400℃

室溫到400℃  室溫到-196℃

樣品臺(tái)測(cè)溫誤差

±0.5℃

樣品臺(tái)升溫速率

高溫100℃/min  低溫7℃/min

溫控儀

溫度顯示

7寸人機(jī)界面

溫控類型

標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定

溫度分辨率

0.1℃

溫控精度

±0.5℃

溫度信號(hào)輸入類型

PT100 (可選K  S  B型熱電偶)

溫控輸出

直流線性電源加熱

直流線性電源加熱+液氮流速控制器

輔助功能

溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實(shí)時(shí)溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴(kuò)展真空讀數(shù)接口

溫控器尺寸

32cmX170cmX380cm

溫控器重量

約5.6KG

探針

電信號(hào)接頭

配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭   BNC三同軸接頭  SMA 接頭 香蕉插頭 線長(zhǎng)1.2米

電學(xué)性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ     介質(zhì)耐壓 ≤200V    電流噪聲 ≤10pA

探針數(shù)量

4探針(可擴(kuò)展5探針)

探針材質(zhì)

鍍金鎢針 (其他材質(zhì)可選)

探針尖

10μm

手動(dòng)探針移動(dòng)平臺(tái)

X軸移動(dòng)行程

20mm    ±10mm(需手動(dòng)推動(dòng)滑臺(tái))

X軸控制精度

≥500μm

R軸移動(dòng)行程

120°    ±60°(需手動(dòng)旋轉(zhuǎn)探針桿)

R軸控制精度

≥500μm

Z軸移動(dòng)行程

2mm    ±1mm

Z軸控制精度

≤50μm(需手動(dòng)螺紋調(diào)節(jié)探針桿)



 

 


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