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高真空大型探針臺

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產(chǎn)品簡介

高真空大型探針臺，采用304不銹鋼腔體，樣品臺溫度-196℃到400℃，觀察窗尺寸直徑70mm，

詳細(xì)介紹

高真空大型探針臺，采用304不銹鋼腔體，樣品臺溫度-196℃到400℃，觀察窗尺寸直徑70mm，

預(yù)算及產(chǎn)品品質(zhì)一直是困擾用戶的兩個(gè)難題。鄭科探推出的KT-Z160T-RL大型探針臺具有探針臂精度小于0.01mm，探針尖10μm，配有電子顯微鏡放大倍數(shù)19-135倍。20升液氮可連續(xù)使用30個(gè)小時(shí)。價(jià)格相對合理。

因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測試時(shí)，空氣中的水汽會凝結(jié)在晶圓上，會導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。

高真空大型探針臺

真空腔體
腔體材質(zhì)	304不銹鋼
上蓋開啟	鉸鏈側(cè)開
加熱臺材質(zhì)	304不銹鋼
內(nèi)腔體尺寸	φ160x90mm
觀察窗尺寸	Φ70mm
加熱臺尺寸	φ60mm
觀察窗熱臺間距	75mm
加熱臺溫度	﹣196~350℃
加熱臺溫控誤差	±1℃
真空度	機(jī)械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
允許正壓	≤0.1MPa
真空抽氣口	KF25真空法蘭
氣體進(jìn)氣口	3mm-6mm卡套接頭
電信號接頭	SMA轉(zhuǎn)BNC X 4
電學(xué)性能	絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V
探針數(shù)量	4探針
探針材質(zhì)	鎢針
探針尖	10μm
探針移動(dòng)平臺
X軸移動(dòng)行程	30mm ±15mm
X軸控制精度	≤0.01mm
Y軸移動(dòng)行程	13mm ±12.5mm
Y軸控制精度	≤0.01mm
Z軸移動(dòng)行程	13mm ±12.5mm
Z軸控制精度	≤0.01mm
電子顯微鏡
顯微鏡類別	物鏡
物鏡倍數(shù)	0.7-4.5倍
工作間距	90mm
相機(jī)	sony 高清
像素	1920※1080像素
圖像接口	VGA
LED可調(diào)光源	有
顯示屏	8寸
放大倍數(shù)	19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm