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微型高溫探針臺

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更新時間：2026-05-18 11:51:55瀏覽次數(shù)：44次

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鄭州科探儀器設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡介

微型高溫探針臺KT-Z400MR4T，0-400℃溫控，主要用于介電、壓電、鐵電、熱釋電、光電等材料的電學(xué)性能表征和測量。

詳細(xì)介紹

微型高溫探針臺KT-Z400MR4T

系列微型真空探針臺是一款專門用于材料電學(xué)表征和測量的微型桌面型電學(xué)測量臺，主要用于介電、壓電、鐵電、熱釋電、光電等材料的電學(xué)性能表征和測量，還可以在真空、氣氛環(huán)境下對材料進(jìn)行電學(xué)測量評估，是實驗室測量薄膜材料電學(xué)性能工具，廣泛用于高校、科研、航天航空、院所等領(lǐng)域。

主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。探針臺從操作上來區(qū)分有：手動，半自動，全自動從功能上來區(qū)分有：溫控探針臺，真空探針臺(低溫探針臺)，RF探針臺，LCD平板探針臺，霍爾效應(yīng)探針臺，表面電阻率探針臺。普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。自動探針測試臺在功能及組成上大同小異，即主要由x-y向工作臺，可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成

為了減少泵組的振動，我們還專門為用戶設(shè)計了隔振器，很大程度地衰減泵組工作時產(chǎn)生的振動，以確保系統(tǒng)的穩(wěn)定，減少探針的漂移。

微型高溫探針臺KT-Z400MR4T參數(shù)

真空腔體
類型	高溫型室溫到350℃	高低溫型室溫到350℃ 室溫到-196℃
腔體材質(zhì)	304不銹鋼 6061鋁合金可選
腔體內(nèi)尺寸	127mmX57mmX20mm
腔體外尺寸	150mmX80mmX32mm
腔體重量	不銹鋼材質(zhì) 約1.5KG 鋁合金材質(zhì) 約0.5KG
腔體上視窗尺寸	Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離）
腔體抽氣口	KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接）
腔體真空測量口	KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接）
腔體進(jìn)氣口	6mm快擰或 6mm快插
腔體冷卻方式	腔體水冷+上蓋氣冷
腔體水冷接口
腔體正壓	≤0.05MPa
腔體真空度	機械泵≤5Pa （5分鐘）分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）
樣品臺
樣品臺材質(zhì)	不銹鋼銀銅合金純銀塊	銀銅合金純銀塊
樣品臺尺寸	26x26mm
樣品臺加熱方式	電阻加熱	電阻加熱液氮制冷
樣品臺-視窗距離	11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm）
樣品臺測溫傳感器	PT100型熱電阻
樣品臺溫度	室溫到400℃	室溫到400℃ 室溫到-196℃
樣品臺測溫誤差	±0.5℃
樣品臺升溫速率	高溫100℃/min 值低溫7℃/min
溫控儀
溫度顯示	7寸人機界面
溫控類型	標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定
溫度分辨率	0.1℃
溫控精度	±0.5℃
溫度信號輸入類型	PT100 （可選K S B型熱電偶）
溫控輸出	直流線性電源加熱	直流線性電源加熱+液氮流速控制器
輔助功能	溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出實時溫度曲線+歷史溫度曲線可擴展真空讀數(shù)接口
溫控器尺寸	32cmX170cmX380cm
溫控器重量	約5.6KG
探針
電信號接頭	配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭香蕉插頭線長1.2米
電學(xué)性能	絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA
探針數(shù)量	4探針（可擴展5探針）
探針材質(zhì)	鍍金鎢針（其他材質(zhì)可選）
探針尖	10μm
手動探針移動平臺
X軸移動行程	20mm ±10mm（需手動推動滑臺）
X軸控制精度	≥500μm
R軸移動行程	120° ±60°（需手動旋轉(zhuǎn)探針桿）
R軸控制精度	≥500μm
Z軸移動行程	2mm ±1mm
Z軸控制精度	≤50μm（需手動螺紋調(diào)節(jié)探針桿）