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光學環(huán)境真空微腔探針臺

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產品簡介

光學環(huán)境真空微腔探針臺測試腔：同時滿足靜態(tài)/動態(tài)測試，304不銹鋼材質，可在紫外燈下保證氣密性測試；測試樣品數：同時測試8個樣品，可進行頻率-阻抗測試、插指電極和場效應管測試；

詳細介紹

1、光學環(huán)境真空微腔探針臺測試腔、控溫及加熱系統

測試夾具要求：可實現XYZ移動；光學環(huán)境真空微腔探針臺

測試腔：同時滿足靜態(tài)/動態(tài)測試，304不銹鋼材質，可在紫外燈下保證氣密性測試；

測試樣品數：同時測試8個樣品，可進行頻率-阻抗測試、插指電極和場效應管測試；

測量溫度：室溫---300 ℃

控溫精度：±1 ℃

顯示精度：±0.1 ℃

測溫傳感器：PT100

升溫斜率：1-10 ℃/min

通訊類型：RS485

加熱功率：500 W

測試腔容積<2 L

2、探針臺和氣體配比器

流量計數量：5個，（根據客戶需求標定氣體量程進氣口和出氣口）

流量規(guī)格：500 ml/min

精準度：±1.0% S.P.(≥30% F.S.)±0.30% F.S.(＜30% F.S.)

重復精度：±0.2% F.S

響應時間：≤1 s

密封形式：金屬密封

接頭尺寸：6 mm

漏率：＜1×10-8 Pa·m3/s

通訊接口：RS485

4、樣品12*10mm，探針可移動范圍x-y 1-10mm，z軸3-5mm

5、每個樣品上方一個紫外燈，四個燈連成燈串外置一個可控開關。紫外燈可更換，樣品上方2cm。

6、加熱板上有個鍍金襯底，用來連接柵極。

目前公司已研發(fā)生產產品十多個系列幾十款產品，產品囊括實驗電爐 CVD供氣系統等離子清洗機小型離子濺射儀小型蒸鍍儀石英管真空封口半導體檢測等。主要適用于科研院校及工礦企業(yè)在新材料、新能源等領域物理特性及化學特性的研究，廣銷于各大院校，及材料研究所。

公司與國內高校，科研院所有多層次的合作關系，建有開放實驗室，相關領域的教授、高級工程師、博士參與公司產品的研究和開發(fā)。我們秉承公司的發(fā)展理念，依靠嚴謹的技術研發(fā)能力，科學合理的生產工藝，精益求精的制造要求，全心全意做好產品質量和服務工作，科探儀器時刻懷著一顆真誠的心期待與您的合作。

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光學環(huán)境真空微腔探針臺

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