當(dāng)前位置：鄭州科探儀器設(shè)備有限公司>>材料樣品處理>>小型濺射儀>>半導(dǎo)體真空磁控濺射儀器

半導(dǎo)體真空磁控濺射儀器

返回列表頁

參考價

面議

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地鄭州市

在線詢價收藏產(chǎn)品查看聯(lián)系電話

包裝印刷網(wǎng)采購部電話：0571-88918531QQ:2568841715

聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式

更新時間：2026-05-17 11:55:45瀏覽次數(shù)：46次

聯(lián)系我時，請告知來自包裝印刷網(wǎng)

產(chǎn)品分類 品牌分類

  材料樣品處理

電解槽

冷阱

真空回流焊爐

小型蒸鍍儀

小型濺射儀

等離子清洗機

全部產(chǎn)品列表

暫無信息

鄭州科探儀器設(shè)備有限公司

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：542條

所在地區(qū)：

詢價 給他留言

產(chǎn)品簡介

半導(dǎo)體真空磁控濺射儀器鄭州科探KT-Z1650PVD，能夠在非導(dǎo)電或?qū)щ姴涣嫉臉悠飞贤坎冀穑ˋu），鈀（Pd），鉑（Pt）和金/鈀（Au / Pd）的薄膜。在較短時間內(nèi)即可形成具有細(xì)粒度的均勻薄膜，使樣品適用于掃描電子顯微鏡（SEM）分析。儀器結(jié)構(gòu)緊湊，全自動控制，設(shè)計符合人體工程學(xué)，所得結(jié)果一致，可重復(fù)性高。

詳細(xì)介紹

鄭州科探儀器設(shè)備是高質(zhì)量定制物理氣相沉積（PVD）系統(tǒng)的設(shè)計者和制造商，客戶服務(wù)和售后服務(wù)出色。擁有7年以上真空和薄膜沉積技術(shù)經(jīng)驗。其研發(fā)團隊在學(xué)界科學(xué)家和工程師的支持下，高度積極地開發(fā)新設(shè)計以滿足客戶的特殊要求。

鄭科探的工程團隊設(shè)計和制造的組件符合高質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。KT-Z1650PVD真空鍍膜機已通過分銷商銷往許多大學(xué)和研究中心，并得到了很好的參考和反饋。

儀器描述：

半導(dǎo)體真空磁控濺射儀器，能夠在非導(dǎo)電或?qū)щ姴涣嫉臉悠飞贤坎冀穑?span style="-webkit-tap-highlight-color: transparent; -webkit-appearance: none; margin: 0px;">Au），鈀（Pd），鉑（Pt）和金/鈀（Au / Pd）的薄膜。在較短時間內(nèi)即可形成具有細(xì)粒度的均勻薄膜，使樣品適用于掃描電子顯微鏡（SEM）分析。儀器結(jié)構(gòu)緊湊，全自動控制，設(shè)計符合人體工程學(xué)，所得結(jié)果一致，可重復(fù)性高。

產(chǎn)品特點：

• 彩色觸摸屏：數(shù)據(jù)輸入簡單快速

• 通過觸摸屏中直觀檢測數(shù)據(jù)和曲線；歷史頁面可顯示歷史涂層信息。

• 可控鍍膜速率，可得到更精細(xì)的晶粒結(jié)構(gòu)

• 可手動或自動，根據(jù)時間或根據(jù)厚度進行濺射

• 樣品臺更換簡單：標(biāo)準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)樣品臺或選用行星式旋轉(zhuǎn)樣品臺。標(biāo)準(zhǔn)樣品臺高度可調(diào)、可傾斜、可旋轉(zhuǎn)；行星式旋轉(zhuǎn)樣品臺為多孔樣品帶來好的噴金效果。

半導(dǎo)體真空磁控濺射儀器技術(shù)參數(shù)；

控制方式	7寸人機界面手動自動模式切換控制
濺射電源	直流濺射電源
鍍膜功能	0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序
功率	≤1000W
輸出電壓電流	電壓≤1000V 電流≤1A
真空	機械泵 ≤5Pa（5分鐘）分子泵≤5*10^-3Pa
濺射真空	≤30Pa
擋板類型	電控
真空腔室	石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm
樣品臺	可旋轉(zhuǎn)φ62 （可安裝φ50基底）
樣品臺轉(zhuǎn)速	8轉(zhuǎn)/分鐘
樣品濺射源調(diào)節(jié)距離	40-105mm
真空測量	皮拉尼真空計（已安裝測量范圍10E5Pa 1E-1Pa）
預(yù)留真空接口	KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口