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P-616 NanoCube® 納米定位器

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并聯(lián)運(yùn)動(dòng) 在多軸并聯(lián)系統(tǒng)中，所有促動(dòng)器直接作用于單一運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

詳細(xì)介紹

在多軸并聯(lián)系統(tǒng)中，所有促動(dòng)器直接作用于單一運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。這意味著可以為所有軸設(shè)計(jì)相同的動(dòng)態(tài)特性，從而大幅降低移動(dòng)質(zhì)量。額外優(yōu)勢(shì)：并聯(lián)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)可比串行堆疊或嵌套系統(tǒng)設(shè)計(jì)得更緊湊。單個(gè)軸的誤差和質(zhì)量不會(huì)累積。

PICMA®促動(dòng)器具有全瓷絕緣，因而其性能和使用壽命遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于傳統(tǒng)促動(dòng)器。陶瓷絕緣層可保護(hù)整體式壓電陶瓷塊，以防止?jié)駳饣蚵╇娏髟龃笤斐傻墓收稀＿@么一來(lái)，即使是在環(huán)境條件下也可實(shí)現(xiàn)超高穩(wěn)定性。對(duì)比機(jī)動(dòng)化驅(qū)動(dòng)器，此類驅(qū)動(dòng)器無(wú)旋轉(zhuǎn)件或摩擦。因而，該壓電陶瓷促動(dòng)器無(wú)空回、免維護(hù)、無(wú)磨損。

柔性鉸鏈導(dǎo)向是一種沒(méi)有靜摩擦和滑動(dòng)摩擦的元件。它基于固體（如鋼材）的彈性形變（彎曲），沒(méi)有滾動(dòng)或滑動(dòng)部件。柔性鉸鏈元件具有高剛性和負(fù)載能力。柔性鉸鏈導(dǎo)向無(wú)需維護(hù)、無(wú)磨損。它們真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作，無(wú)需潤(rùn)滑劑。

電容式傳感器直接在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上測(cè)量位置（直接計(jì)量），工作時(shí)無(wú)接觸。摩擦和滯后都不會(huì)影響測(cè)量，可同時(shí)實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的線性度數(shù)值和高位置分辨率。電容式傳感器可實(shí)現(xiàn)的分辨率、穩(wěn)定性和帶寬。

ID芯片位于Sub-D連接器。當(dāng)平臺(tái)在工廠內(nèi)利用數(shù)字電控進(jìn)行校準(zhǔn)時(shí)，校準(zhǔn)數(shù)據(jù)與特定產(chǎn)品信息被同時(shí)保存在ID芯片上。開(kāi)機(jī)后，數(shù)字電控從已連接平臺(tái)的ID芯片上讀取數(shù)據(jù)。若平臺(tái)的ID芯片包含校準(zhǔn)數(shù)據(jù)，則其可被連接至任何合適的數(shù)字電控，無(wú)需重新校準(zhǔn)。

光纖對(duì)準(zhǔn)

顯微鏡應(yīng)用

雙光子聚合

納米技術(shù)和納米制造

技術(shù)參數(shù)：

初步數(shù)據(jù)	P-616.3C	單位	公差
運(yùn)動(dòng)和定位
主動(dòng)軸	X、Y、Z
開(kāi)環(huán)行程，-20至120伏	110/軸	微米	+20 % / -0 %
閉環(huán)行程	100/軸	微米	+20 % / -0 %
分辨率，1秒，開(kāi)環(huán)*	0.3	納米	典型值
分辨率，1秒，閉環(huán)*	0.4	納米	典型值
線性誤差，全行程范圍內(nèi)，帶數(shù)字控制器(E-727.3CD)	0.03	%	典型值
雙向重復(fù)精度，1秒，10%行程范圍內(nèi)	<>	納米	典型值
雙向重復(fù)精度，1秒，99%行程范圍內(nèi)	<>	納米	典型值
傳感器
傳感器類型	電容式傳感器
機(jī)械特性
剛度	0.5	牛/微米	±10 %
X/Y/Z向上的空載諧振頻率	700	赫茲	±10 %
帶38克負(fù)載的諧振頻率 X / Y / Z	380	赫茲	±20 %
帶100克負(fù)載的諧振頻率 X / Y / Z	250	赫茲	±20 %
推力， *	15	牛
保持力，被動(dòng)， *	15	牛
允許轉(zhuǎn)矩***	0.4	牛米
負(fù)載能力****	300	克
驅(qū)動(dòng)特性
陶瓷類型	PICMAP-885.50
電容	1.5/軸	微法	±20 %
其他
工作溫度范圍 *****	-20 到 80	°C
材料	鋁、鋼
尺寸	40 × 40 × 40	毫米
移動(dòng)質(zhì)量（無(wú)負(fù)載）	0.021	千克
不含電纜的質(zhì)量	0.125	千克
包含電纜在內(nèi)的質(zhì)量	0.4	千克
電纜長(zhǎng)度	1.5	米	±10 毫米
連接	Sub-D25W3（公）

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P-616 NanoCube® 納米定位器

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并聯(lián)運(yùn)動(dòng)

PICMA®壓電陶瓷促動(dòng)器

柔性鉸鏈導(dǎo)向

電容式傳感器

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