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蘇州晶格電子有限公司
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一、可以測(cè)試的ITO膜材料類型（圖）圖2-1透明導(dǎo)電玻璃圖2-2手機(jī)屏ITO膜圖2-3觸摸屏原材料二、方案選配ITO膜、導(dǎo)電薄膜涂層電阻率方塊電阻測(cè)試方案選配核心原則，一是要對(duì)薄膜沒有損害的鍍金銅合金探頭,二是知道薄膜的測(cè)試范圍來選配合適的四探針測(cè)試儀
一、可以測(cè)試的ITO膜材料類型（圖）
圖2-1 透明導(dǎo)電玻璃 圖2-2 手機(jī)屏ITO膜
圖2-3 觸摸屏原材料
二、方案選配
ITO膜、導(dǎo)電薄膜涂層電阻率方塊電阻測(cè)試方案選配核心原則，一是要對(duì)薄膜沒有損害的鍍金銅合
金探頭,二是知道薄膜的測(cè)試范圍來選配合適的四探針測(cè)試儀。
ITO膜電阻率測(cè)試的方案選配分三個(gè)方面：探頭的選配、儀器的選配、測(cè)試臺(tái)的選配。任意三件
套組合可以構(gòu)成不同特色的方案，以下可供自行選擇。
2.1、測(cè)試ITO材料測(cè)試探頭的選配
ITO薄膜是一種n型半導(dǎo)體材料，具有高的導(dǎo)電率、高的可見光透過率、高的機(jī)械硬
度和良好的化學(xué)穩(wěn)定性，但一般這種材料比較薄容易受損害的，因此要選我公司球形鍍
金銅合金探頭，這種探頭壓力是非常輕，對(duì)ITO沒有損害的.
可以選一下幾個(gè)探頭型號(hào)如ST2558B-F01(針距是直線2+2+2)、ST2558B-F03(針距
是直線1+1+1）ST2571A-F03(針距是矩形2X2)、ST2571A-F02(針距是矩形1X1）。這
幾種探頭都可以選配使用的。一般選用直線2+2或1+1是測(cè)量長(zhǎng)條狀的樣品，要有一定
的長(zhǎng)度，對(duì)寬度是沒有要求的，如果選用矩形1X1或2X2是測(cè)試正方體樣品的，長(zhǎng)寬等
距都相等的正方體一般長(zhǎng)寬是1X1或2X2等。如下圖 所示
ST2558B-F01 ST2571A-F03
ST2558B-F03 ST2571-F02
2.2、ITO膜方塊電阻率四探針測(cè)試儀的選配
四探針測(cè)試儀選配的基本原則是材料電阻率或方阻的測(cè)試范圍、測(cè)試精度。一般可以
選手持式的M-3型的，充電式的，方便攜帶。還可以選擇臺(tái)式的ST2258C的、ST2253的(帶
電腦PC軟件的）也可以選擇測(cè)試精度更高的雙電測(cè)ST2263(也帶電腦PC軟件的）這幾種可
自行選擇。如下圖 所示
***手持式M-3四探針測(cè)試儀***
測(cè)試范圍、分辨率
電 阻： 0.010Ω ～ 50.00kΩ, 分辨率0.001Ω ～ 10 Ω
電 阻 率： 0.010Ω-cm～ 20.00kΩ-cm， 分辨率0.001Ω ～ 10 Ω-cm
方塊電阻： 0.050Ω/□ ～ 100.00kΩ/□ 分辨率0.001Ω ～ 10 Ω/□
量程劃分及誤差等級(jí)
M-3手持式是款充電式的，拿在手上就可以檢驗(yàn)了，方便外出攜帶。
手持式M-3型
***臺(tái)式ST2258C四探針測(cè)試儀***
測(cè)試范圍、分辨率
電 阻：10.0×10-6 ～ 200.0×10∧3 Ω, 分辨率1.0×10-6 ～ 0.1×10∧3 Ω
（1.0×10-6 ～ 20.00×10∧3 Ω, 分辨率0.1×10-6 ～ 0.01×10∧3 Ω）
電 阻 率：10.0×10-6 ～ 200.0×10∧3 Ω-cm 分辨率1.0×10-6 ～ 0.1×10∧3 Ω-cm
（1.0×10-6 ～ 20.00×10∧3 Ω-cm 分辨率0.1×10-6 ～ 0.01×10∧3 Ω-cm）
方塊電阻：50.0×10-6 ～ 900.0×10∧3 Ω/□ 分辨率5.0×10-6 ～ 0.5×10∧3 Ω/□
（5.0×10-6 ～ 100.0×10∧3 Ω/□ 分辨率0.5×10-6 ～ 0.1×10∧3 Ω/□）
量程劃分及誤差等級(jí)
臺(tái)式ST2258C這款測(cè)試范圍寬一點(diǎn)，有八檔寬量程，全自動(dòng)量程，帶產(chǎn)品分類功能，比手持
式M-3大一點(diǎn)，多幾個(gè)量程，不帶PC測(cè)試軟件，手工記錄數(shù)據(jù)。
ST2258C
***臺(tái)式ST2253四探針測(cè)試儀**
測(cè)試范圍、分辨率
電 阻：1×10-4～2×10∧5 Ω， 分辨率：1×10-5～1×10∧2 Ω
電阻率：1×10-4～2×10∧5 Ω-cm， 分辨率：1×10-5～1×10∧2 Ω-cm
方 阻：5×10-4～1×10∧6 Ω/□， 分辨率：5×10-5～1×10∧2 Ω/□
量程劃分及誤差等級(jí)
ST2253 臺(tái)式ST2253測(cè)試范圍和ST2258C是一樣的，也是八檔寬量程的。但ST2253這款是帶電腦PC
軟件的，USB通訊接口，軟件界面同步顯示、分析、保存和打印數(shù)據(jù)。
***臺(tái)式ST2263四探針測(cè)試儀***
測(cè)試范圍、分辨率
電阻率：1×10-4～2×10∧5 Ω-cm，分辨率：1×10-5～1×10∧2 Ω-cm
方 阻：5×10-4～1×10∧6 Ω/□，分辨率：5×10-5～1×10∧2 Ω/□
電 阻：1×10-5～2×10∧5 Ω ，分辨率：1×10-6～1×10∧2 Ω
量程劃分及誤差等級(jí)
ST2263 臺(tái)式ST2253這款是雙電測(cè)的,誤差小，測(cè)試精度高，也帶電腦PC軟件的。
2.3、ITO膜方塊電阻率四探針測(cè)試臺(tái)的選配
測(cè)試臺(tái)可以選擇我公司的SZT-C型的，這款測(cè)試壓力可調(diào)并保持恒定，快速操作。
SZT-C
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