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深圳市杰創(chuàng)立儀器有限公司
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S680直流/射頻參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)主要特點(diǎn)及優(yōu)點(diǎn):單一平臺(tái)上的晶圓級(jí)直流/射頻測(cè)試專(zhuān)為最小化測(cè)試費(fèi)用而設(shè)計(jì)應(yīng)用廣泛基于SECS/GEM的300mm和200mm自動(dòng)化S680直流/射頻參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)專(zhuān)為高靈敏度高速測(cè)試而設(shè)計(jì)
S680 直流/射頻參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)主要特點(diǎn)及優(yōu)點(diǎn):
S680 直流/射頻參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)專(zhuān)為高靈敏度高速測(cè)試而設(shè)計(jì)。測(cè)量?jī)x器位于系統(tǒng)機(jī)柜內(nèi)，而前置放大器位于測(cè)試頭。前置放大器用于在探針后數(shù)厘米內(nèi)放大低電平信號(hào)，再將放大了的信號(hào)通過(guò)電纜傳入系統(tǒng)機(jī)柜內(nèi)的測(cè)量?jī)x器。這一方法消除了一般電纜和開(kāi)關(guān)矩陣效應(yīng)帶來(lái)的速度和靈敏度損失。一個(gè)單一類(lèi)型的SMU具有寬動(dòng)態(tài)量程。外部?jī)x器可以使用八條通用管路直接連接到探針。
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