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紫外激光劃片機(jī)

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產(chǎn)品簡介

本產(chǎn)品是半導(dǎo)體晶圓芯片的激光劃片切割專用設(shè)備

詳細(xì)介紹

本產(chǎn)品是半導(dǎo)體晶圓芯片的激光劃片切割專用設(shè)備。具有激光功率穩(wěn)定、光束模式好、峰值功率高、低成本、安全、穩(wěn)定、操作簡單等特點(diǎn)。

技術(shù)參數(shù)

可切割范圍英寸 4寸，預(yù)留5寸升級(jí)空間

動(dòng)量解析度 um 0.1

X軸單步步進(jìn)量 um 1

可移動(dòng)范圍 mm 150

Y軸移動(dòng)量解析度 um 0.1

單步步進(jìn)量 um 1

定位精度 mm 0.005以內(nèi)/120

重復(fù)精度 um 1

θ軸旋轉(zhuǎn)速度 RPM 120

最小旋轉(zhuǎn)分辨率 deg 0.0005

可移動(dòng)范圍 mm 10

Z軸（千分尺旋鈕型）最小讀數(shù) um 10

劃片速度雙臺(tái)面 mm/s 60

對(duì)FPC軟板切割鉆孔、PCB電路板分板切割、指紋識(shí)別芯片切割、半導(dǎo)體切割等。



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