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臥式甩干機(jī)SA-SV702-C

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臥式甩干機(jī)SA-SV702-C為本公司針對(duì)（含）6"以下制程之需求，使用自制電機(jī)，參照美規(guī)設(shè)計(jì)之全新旋干機(jī)，采垂直式放置晶片，并可控制0.3微塵顆粒量20粒，其主要三大功能為清洗，高速脫水，低速烘干

詳細(xì)介紹

臥式甩干機(jī)SA-SV702-C

為本公司針對(duì)（含）6"以下制程之需求，使用自制電機(jī)，參照美規(guī)設(shè)計(jì)之全新旋干機(jī)，采垂直式放置晶片，并可控制0.3微塵顆粒量20粒，其主要三大功能為清洗，高速脫水，低速烘干。


1、設(shè)備用于6英寸硅片甩干工藝。

2、每批處理晶圓數(shù)量為50，25片/腔體。

3、甩干機(jī)為上下雙工藝腔體設(shè)計(jì)，腔室內(nèi)采用不銹鋼。

4、轉(zhuǎn)子的動(dòng)平衡為片盒中的硅片從0～25片。

5、轉(zhuǎn)速1800-2000轉(zhuǎn)/min。

6、顆粒度增加值<20 (0.3 um)  。


用于4寸～6寸晶片的清洗甩干，能根據(jù)客戶要求定制。

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