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具有對準功能的UVK9紫外線曝光機（三維結(jié)構(gòu)）

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更新時間：2023-07-21 08:25:35瀏覽次數(shù)：546次

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產(chǎn)品簡介

帶有對準功能的高分辨率紫外線燈-UVK9UVK9有一個自動的紫外線曝光室，具有高度準直的紫外線（準直度＜2°）

詳細介紹

帶有對準功能的高分辨率紫外線燈-UVK9
UVK9有一個自動的紫外線曝光室，具有高度準直的紫外線（準直度＜2°）。使用UV LED等，無需加熱或冷卻時間，且LED燈的使用壽命超過10000小時。智能界面簡化了曝光過程，您只需要按照屏幕上的指示進行操作即可。UVK9具有5μm精度的對準功能和2μm的分辨率，與無塵室中的任何紫外線曝光系統(tǒng)相似，但仍是臺式設(shè)備，可以安裝在任何地方，尤其是在無塵室外部。

優(yōu)勢
（1）高分辨率低至2μm
（2）高紫外線功率曝光
（3）可調(diào)的時間和功率
（4）易于使用
（5）5μm對準
（6）提供軟光刻工藝的全部知識

模具對準！
UVK9實際上類似于UVK3，但是其可在UV曝光之前在掩模和晶圓之間進行對齊。

的確，借助操縱桿，您將能夠以5μm的分辨率將掩模對準光刻膠層。對準操作很容易很容易在四個自由度上完成，所有移動都可以通過視頻輔助定位系統(tǒng)進行檢查。

憑借UVK9紫外曝光機，您可以在同一個模具上加工不同的厚度層，如生物領(lǐng)域，首先要有一個較小的通道（高度約5μm），較大的通道接近樣品的尺寸（高度約40μm）。

您也可以通過關(guān)閉通道并在某個精確位置打開流體連接來在光刻膠中創(chuàng)建硬質(zhì)器件。

技術(shù)支持
我們?yōu)槲覀児?yīng)的所有設(shè)備提供高水平的技術(shù)支持，同時也為紫外曝光前后的相關(guān)微加工步驟提供支持。除了在整個過程中幫助您提供一部分支持外，我們還可以在所有加工過程中為您提供指導(dǎo)。

技術(shù)規(guī)格
（1）UVK9是緊湊的對準式UV曝光系統(tǒng)（475×475×478 mm）
（2）UV LED燈的波長為365nm，使用壽命長達10000個小時。
（3）像UVK3一樣，發(fā)散角確實小于2°，而且在4英寸晶圓的整個表面上的曝光均勻性都優(yōu)于5%。
（4）UVK9可以在掩膜模式下進行真空接觸