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行業(yè)產(chǎn)品

  • 行業(yè)產(chǎn)品

武漢華工激光工程有限責(zé)任公司


納秒激光劃片設(shè)備

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參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地武漢市

包裝印刷網(wǎng)采購(gòu)部電話：0571-88918531QQ:2568841715

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更新時(shí)間：2023-09-21 10:02:09瀏覽次數(shù)：617次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

采用納秒激光器，針對(duì)GPP晶圓等進(jìn)行精密劃切。 切割頭 自研 重復(fù)定位精度 ±2μm、±5arc sec 設(shè)備重量 1000 Kg

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
  • 01
    加工質(zhì)量高

    切割線寬窄（以紫外劃片為例：含HAZ≤30±5μm），崩邊小≤10μm


  • 02
    加工效率高

    UPH≥15 （以40Mil，5英寸GPP晶圓為例，含自動(dòng)上下料） 


  • 03
    加工穩(wěn)定性好

    納秒激光器功率穩(wěn)定性，光束質(zhì)量好（M2 <1.5) 


技術(shù)參數(shù)
內(nèi)容主要技術(shù)參數(shù)
設(shè)備型號(hào)LUD3200LUD3210
激光器參數(shù)中心波長(zhǎng)~355nm~1064nm
加工頭自制切割頭自制切割頭
加工性能有效工作行程200x300mm(選配)、DD馬達(dá)200x300mm(選配)、DD馬達(dá)
重復(fù)定位精度±2μm、±5arc sec±2μm、±5arc sec
視覺(jué)定位正面定位、正面切割正面定位、背面切割
劃線線寬≤30±5μm≤40±5μm
其他供電規(guī)格220V/50Hz/3.5kW220V/50Hz/3.5kW
整機(jī)尺寸1150mm*800mm*1700mm1150mm*800mm*1700mm
設(shè)備重量1000 Kg1000 Kg


樣品展示


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