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等離子清洗機（GAS PLASMA DRY CLEANERS） 型號：PDC200/210/510

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更新時間：2023-07-17 08:33:48瀏覽次數(shù)：524次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：2條

所在地區(qū)：

產(chǎn)品簡介

詳細(xì)介紹

等離子清洗機（GAS PLASMA DRY CLEANERS） 型號：PDC200/210/510

儀器簡介：

研究開發(fā)用等離子清洗機

用途：

CSB/BGA/COB基板的等離子處理
有機膜和金屬氧化膜的除去
印刷電路基板的干洗
界面活性處理



技術(shù)參數(shù)：
型號 PDC200 PDC210 PDC510
模式 RIE模式（DP選配） DP模式 DP/RIE切換方式
電極構(gòu)造 平行平板電極（固定）
高頻輸出功率 MAX300W Max 500W
頻率 13.56MHz
控制方式 自動聯(lián)動，液晶觸摸屏控制
反應(yīng)室尺寸 400×250×150mm 500×300×200
電極尺寸 250×170mm 400×200mm
反應(yīng)室材質(zhì) 一次性一體成型鋁腔（防腐蝕，可對應(yīng)CF4）
反應(yīng)氣體 2系統(tǒng)（Ar/O2）
填充氣體 N2/潔凈干燥空氣
反應(yīng)氣體流量控制 流量計 聚合控制器
真空泵 另行選配 油回旋真空泵（排氣量345L/min） 油回旋真空泵（排氣量500L/min）
氣體導(dǎo)入口 反應(yīng)氣體2套，填充氣體1套
外型尺寸 540×600×600mm 540×600×600mm 700×700×700mm
電源 單相AC100V 15A 50/60Hz 三相AC100V 15A 50/60Hz


主要特點：

RIE模式標(biāo)配（DP切換為選購）
等離子的均應(yīng)性高操作簡單的液晶觸摸屏控制面

典型用戶

采購單位名稱 采購時間 采購臺數(shù) 備注
瑞聲聲學(xué)科技控股有限公司 2006-7-1 1
東芝大連有限公司 2008-7-9 1
東莞石龍京瓷光學(xué)有限公司 2007-9-10

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