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行業(yè)產(chǎn)品

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蘇州中芯啟恒科學儀器有限公司


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URE-2000B光刻機

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地蘇州市

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更新時間：2023-07-03 13:43:07瀏覽次數(shù)：438次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹: 1.曝光面積：100mmX100mm 2.曝光波長：365nm 3.分辨力：0.8um（膠厚2mm的正膠）4.對準精度：±0.6um...

詳細介紹

1．技術參數(shù)


l 曝光面積：100mmX100mm

l 曝光波長：365nm

l 分辨力：0.8um（膠厚2um的正膠）

l 對準精度：±0.6um

l 掩模樣片整體運動范圍：X：15mm;Y:15mm

l 掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸

l 樣片尺寸：直徑f15mm-- f100mm（各種不規(guī)則片）

厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm)

l 曝光方式：定時（倒計時方式）和定劑量

l 具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能

l 照明不均勻性： 2.5%（f100mm 范圍）

l 雙目雙視場對準顯微鏡：既可通過目鏡目視對準，也可通過CCD+顯示器對準，光學合像，光學倍數(shù)400倍，光學+電子放大800倍

物鏡3對：4倍、10倍、20倍；     目鏡3對：10倍、16倍、20倍

l 調平接觸壓力通過傳感器保證重復

l 數(shù)字設定對準間隙和曝光間隙

l 具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口

l 掩模相對于樣片運動行程：   X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±6度

l 焦厚：600mm（SU8膠，用戶提供檢測條件）

l 光源平行度：2o

l 曝光能量密度：>20mW/cm

l 汞燈功率：1000W（直流，進口）

2．外形尺寸：1400mm（長）′1200mm(寬) ′1950mm（高）

3．配置


（1）曝光頭


l 冷光橢球鏡

l XYZ汞燈調節(jié)臺

l 冷卻風扇

l 1000W進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)

l 光學系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡1、準直鏡鏡2、蠅眼透鏡組（109個透鏡）、i線濾光片、場鏡、冷光反射鏡1、反射鏡2


（2）對準工件臺


l 掩模樣片整體運動臺

l 掩模樣片相對運動臺

l 轉動臺

l 樣片調平機構,自動完成

l 樣片自動調焦機構

l 承片臺4個（f15mm 、2英寸、3英寸、4英寸）

l 掩模夾4個（2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸）

l 基片抽拉式上下機構


（3）對準顯微鏡及CCD對準系統(tǒng)


l 光源、電源

l 雙目雙視場對準顯微鏡主體

l 目鏡3對（10倍、16倍、20倍，共6個）

l 物鏡3對（4倍、10倍、20倍，共6個）

l CCD

l 21英寸液晶顯示器

（4）電控系統(tǒng)


l 汞燈觸發(fā)電源(1000W直流汞燈)

l 單片機控制系統(tǒng)

l 控制柜桌 

（5）氣動系統(tǒng)

l 氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關等

l 電磁閥驅動

l 氣動儀

（6）其他附件

l 真空泵一臺（無油泵）

l 空壓機一臺（泵）

l 管道

（7）技術資料

l 使用維修說明書。

l 顯微鏡使用說明書


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