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行業(yè)產(chǎn)品

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西安賽航光電科技有限公司


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1200℃滑動(dòng)式三溫區(qū)

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)CVD-12IIIH-3Z/G(CVD-12III9H-3Z/G)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地西安市

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更新時(shí)間:2026-03-09 11:58:39瀏覽次數(shù):49次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

詳細(xì)介紹


技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品名稱

1200℃滑動(dòng)式三溫區(qū)CVD系統(tǒng)

系統(tǒng)型號(hào)

CVD-12IIIH-3Z/G

CVD-12III9H-3Z/G

溫度

1200℃

加熱區(qū)長(zhǎng)度

655mm

940mm

恒溫區(qū)長(zhǎng)度

500mm

700mm

溫區(qū)

三溫區(qū)

三溫區(qū)

石英管管徑

Φ50/Φ60/Φ80

Φ80/Φ100/Φ120

額定功率

4.8Kw

7.2Kw

額定電壓

220V

380V(三相)

滑動(dòng)距離

507mm

650mm

滑動(dòng)方式

自動(dòng)滑動(dòng)/手動(dòng)滑動(dòng)

溫度控制

國(guó)產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)50段程序控溫

控制精度

± 1℃

爐管工作溫度

< 1200℃

氣路法蘭

本實(shí)用新型在密封法蘭與管件鏈接的地方采用多環(huán)密封技術(shù),在密封法蘭與管件外壁間形成了密封,在管件外徑誤差較大的情況下密封仍然有效,該密封法蘭的安裝只需在次使用設(shè)備的時(shí)候安裝

氣體控制方式

質(zhì)量流量計(jì)

氣路數(shù)量

3路(可根據(jù)具體需要選配氣路數(shù)量)

()

流量范圍

0-500sccm(標(biāo)準(zhǔn)毫升/分,可選配)氮?dú)鈽?biāo)定

精度

± 1%F.S

響應(yīng)時(shí)間

≤ 4sec

工作溫度

5-45℃

工作壓力

進(jìn)氣壓力0.05-0.3Mpa(表壓力)

系統(tǒng)連接方式

采用KF快速連接波紋管、高真空手動(dòng)擋板閥及數(shù)顯真空測(cè)量?jī)x

規(guī)格

中真空

高真空

系統(tǒng)真空范圍

10pa-100pa

1×10-3pa-1×10-1pa

真空泵

雙級(jí)機(jī)械泵理論極限真空度3x10-1pa,抽氣速率4L/S,

真空分子泵理論極限真空度5x10-6pa,

出氣口配有油污過(guò)濾器,額定電壓220V,功率0.55Kw

抽氣速率1600L/S額定電壓220V,功率2Kw

爐體外形尺寸

360× 815 ×555mm

系統(tǒng)外形尺寸

530*1440*750mm

530*1440*750mm(不含高真空)

系統(tǒng)總重量

255Kg

355Kg



產(chǎn)品用途

此款CVD系統(tǒng)適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié),真空淬火退火,快速降溫等工藝實(shí)驗(yàn)。

CVD系統(tǒng)配置

1200度開啟式真空管式爐(可選配多溫區(qū))。

滑動(dòng)系統(tǒng)分為手動(dòng)、電動(dòng)滑動(dòng),并配有風(fēng)冷系統(tǒng)及管內(nèi)測(cè)溫系統(tǒng)。

多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)。

真空系統(tǒng)(可選配中真空或高真空)。

產(chǎn)品特點(diǎn)

控制電路選用模糊PID程控技術(shù),該技術(shù)控溫精度高,熱慣性小,溫度不過(guò)沖,性能可靠,操作簡(jiǎn)單。

氣路快速連接法蘭結(jié)構(gòu)采用本公司的知識(shí)產(chǎn)權(quán)設(shè)計(jì),提高操作便捷性。

中真空系統(tǒng)具有真空度上下限自動(dòng)控制功能,高真空系統(tǒng)采用高壓強(qiáng),耐沖擊分子泵,防止意外漏氣造成分子泵損壞,延長(zhǎng)系統(tǒng)使用壽命。

(電動(dòng))滑動(dòng)系統(tǒng)采用溫度控制器自動(dòng)控制爐體移動(dòng),等程序完成,爐體按設(shè)定的速度滑動(dòng),印有滑動(dòng)限位功能,爐體不會(huì)發(fā)生碰撞,待樣品露出爐體后,通過(guò)風(fēng)冷系統(tǒng)快速降溫。

選配件

產(chǎn)品型號(hào)位表示儀表配置(可選配):








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