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行業(yè)產(chǎn)品

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匯鼎精密科技(蘇州)有限公司


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臺階儀 | 薄膜測厚儀 | 微細形狀測定機 ET4000系列

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地蘇州市

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更新時間:2023-06-13 10:35:21瀏覽次數(shù):388次

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產(chǎn)品簡介

● 高精度.安定性.機能性適合于FPD基板·晶圓硬盤等的微細形狀、段差、粗度測定的機型?!?是多機能的全自動微細形狀測定機,針對用途及樣品尺寸有多種機型可供選擇?!?ET4000A/ ET4000AK一可實現(xiàn)2D/3D表面形狀測量?!?ET4000M一高性能的泛用微細…

詳細介紹

臺階儀/膜厚儀ET4000系列產(chǎn)品參數(shù)


試片尺寸210×210mm~300×400mm
重現(xiàn)性1σ 0.5nm以內(nèi)
測定范圍Z:100um X:100~305mm (Y移動量:150~400mm)
分解能Z:0.1nm X:0.1um
測定力

0.5UN~500UN (0.05mg-50mg)


臺階儀可以應用在半導體,光伏/太陽能,光電子,化合物半導體,OLED,生物醫(yī)藥,PCB封裝等領域的薄膜厚度,臺階儀測量薄膜厚度,臺階高度,粗糙度(Ra,Rq,Rmax...),劃痕深度,磨損深度,薄膜應力(曲定量率半徑法)等定量測量方面。其高精度,高重復性,自動探索樣品表面



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