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HY-GL355紫外激光晶圓劃片機

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機型特點選用的工業(yè)級水冷半導(dǎo)體泵浦355nm紫外激光器，通過壙束、聚焦后獲得精細(xì)聚焦光斑，輔以高精度的兩維直線電機工作臺及直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺，專用CCD監(jiān)視定位系統(tǒng)，用以實現(xiàn)高精度切割

詳細(xì)介紹

機型特點

選用的工業(yè)級水冷半導(dǎo)體泵浦355nm紫外激光器，通過壙束、聚焦后獲得精細(xì)聚焦光斑，輔以高精度的兩維直線電機工作臺及直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺，專用CCD監(jiān)視定位系統(tǒng)，用以實現(xiàn)高精度切割。采用紫外激光‘冷光源’，具有切割熱影響區(qū)域小，無機械應(yīng)力作用，晶粒切割成品率高，切割后芯片電學(xué)性能參數(shù)優(yōu)于砂輪刀片切割等特點。

技術(shù)資料

型號：HY-GL355
激光器：調(diào)Q半導(dǎo)體泵浦紫外激光器
激光物質(zhì)：Nd:YAG
激光波長：355nm
額外功率：5w
直線電機工作臺定位精準(zhǔn)：-2um~+2um
直線電機工作臺重復(fù)精準(zhǔn)：-1um~+1um
直線電機工作臺有效行程：300mm*300mm
CCD定位精準(zhǔn)：-7um~7um
最小切割線寬：0.020mm
旋轉(zhuǎn)范圍：360度
旋轉(zhuǎn)精度：0.001度

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