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超高分辨肖特基場發(fā)射掃描電子顯微鏡SU8700

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廣州市君翔自動化控制設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡介

超高分辨觀察和分析能力日立的高亮度肖特基場發(fā)射電子槍可同時支持超高分辨觀察和快速微束分析

詳細介紹

超高分辨觀察和分析能力

日立的高亮度肖特基場發(fā)射電子槍可同時支持超高分辨觀察和快速微束分析。在不使用樣品臺減速的情況下，僅用0.1 kV的低加速電壓仍可進行高分辨觀察，適應(yīng)更多應(yīng)用場景。同時，可搭配多種新型探測器和其他豐富的選配項，滿足更多的觀測需求。

的自動化功能*

EM Flow Creator 允許客戶創(chuàng)建連續(xù)圖像采集的自動化工作流程。EM Flow Creator將不同的SEM功能定義為圖形化的模塊，如設(shè)置放大倍率、移動樣品位置、調(diào)節(jié)焦距和明暗對比度等。用戶可以通過簡單的鼠標拖拽，將這些模塊按邏輯順序組成一個工作程序。經(jīng)過調(diào)試和確認后，該程序便可以在每次調(diào)用時自動獲得高質(zhì)量、重現(xiàn)性好的圖像數(shù)據(jù)。

的顯示及交互特性

原生支持雙顯示器，提供靈活、高效的操作空間。
6通道同時顯示與保存，實現(xiàn)快速的多信號觀測與采集，帶來更多信息。
單次掃描支持 40,960×30,720 的超高像素*

大視野和高像素成像

左圖是視野約為120 μm，單次掃描采集的大鼠超薄切片樣品高像素圖像。將黃色矩形區(qū)域圖像進行簡單的數(shù)字放大，得到右圖。右圖相當于左圖數(shù)字放大20倍,依然可以清晰確認到神經(jīng)細胞的細胞器等的內(nèi)部構(gòu)造
SU8600和SU8700單次掃描像素可達 40,960 x 30,720.*

規(guī)格

電子光學系統(tǒng)	二次電子分辨率	0.8 nm@15 kV
	二次電子分辨率	0.9 nm@1 kV
	放大倍率	20 ~ 2,000,000 x
	電子槍	肖特基場發(fā)射電子源
	加速電壓	0.1 ~ 30 kV
	著陸電壓1,3	0.01 ~ 7 kV
	**束流	200 nA
探測器	標配探測器	上探測器（UD）
	標配探測器	下探測器（LD）
	選配探測器*3	鏡筒內(nèi)背散射電子探測器（MD）
		半導體式背散射電子探測器（PD-BSE）
		高靈敏低真空探測器（UVD）
		掃描透射探測器（STEM）
	選配附件*2	X射線能譜儀（EDS）
	選配附件*2	電子背散射衍射探測器(EBSD)
樣品臺	馬達驅(qū)動軸	5軸馬達驅(qū)動
	移動范圍
	X	0 ~ 110 mm
	Y	0 ~ 110 mm
	Z	1.5 ~ 40 mm
	T	-5 ~ 70°
	R	360°
樣品室	樣品尺寸	*直徑：150 mm4
低真空模式	真空范圍	5 ~ 300 Pa