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激光剝離機

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產(chǎn)品型號LL06156(DPSS)

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更新時間：2023-05-19 20:01:25瀏覽次數(shù)：497次

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大族激光科技產(chǎn)業(yè)集團股份有限公司

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產(chǎn)品簡介

主要特點：設(shè)備特點：1、線形光斑的激光整形技術(shù)，實現(xiàn)在不同尺寸加工樣品上的剝離操作2、氣浮式的工作臺實現(xiàn)無接觸無摩擦的加工形式，避免產(chǎn)生粉塵顆粒，保證裝備內(nèi)部的潔凈度3、高精度、大尺寸、雙工位的stage設(shè)計，可有效提高生產(chǎn)效率4、panel載臺吸附設(shè)計

詳細(xì)介紹

主要特點：

設(shè)備特點：

1、線形光斑的激光整形技術(shù)，實現(xiàn)在不同尺寸加工樣品上的剝離操作

2、氣浮式的工作臺實現(xiàn)無接觸無摩擦的加工形式，避免產(chǎn)生粉塵顆粒，保證裝備內(nèi)部的潔凈度

3、高精度、大尺寸、雙工位的stage設(shè)計，可有效提高生產(chǎn)效率

4、panel載臺吸附設(shè)計。激光設(shè)備的物料載臺的真空吸附部分，采用了分區(qū)域加時間延遲的設(shè)計，先吸附中間部分，再逐次往外圍吸附，保證帶柔性膜的panel可以無皺褶高效吸附

主要參數(shù):

主要參數(shù)	加工尺寸	1"-8"
	加工速度	180mm/s
	加工精度	0.1μm
	平臺參數(shù)	1）移動精度 X 軸： 0.1μm Y 軸： 0.1μm Z 軸： 1μm Theta 軸： 0.2° 2）定位精度 X 軸： ≤±4μm Y 軸： ≤±4μm Z 軸： ≤±5μm Theta 軸： 0.1°
	激光器參數(shù)	1）激光器波長： 308nm 2）激光能量： ≥600W 3）激光脈沖功率： 1000mJ 4）總頻率： 600 Hz 5）脈沖寬度： 24±4ns 6）脈沖穩(wěn)定性： ≤1%
	工藝方式	DPSS激光剝離
	制程類型	激光剝離
	Tact time	1":4.5s 8":6s
	稼動率	0.9