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智能勻膠機CPN-SC-100

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CPN-SC-100標(biāo)準(zhǔn)型勻膠機主要適用于半導(dǎo)體硅片、晶片、ITO導(dǎo)電玻璃、光學(xué)玻璃等工藝制版及表面涂覆，各種光刻膠表面膜制備

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CPN-SC-100 標(biāo)準(zhǔn)型勻膠機主要適用于半導(dǎo)體硅片、晶片、ITO 導(dǎo)電玻璃、光學(xué)

玻璃等工藝制版及表面涂覆，各種光刻膠表面膜制備。采用變頻技術(shù)控制旋涂速度與

時間，有效控制膠的厚度、均一性?？蓱?yīng)用于各研究領(lǐng)域前期研發(fā)及小規(guī)模生產(chǎn)。

性能描述

1、控制顯示：LED 數(shù)字控制器，用戶可通過控制器進行參數(shù)修改設(shè)置

2、勻膠模式：可同時輸入七組數(shù)值，即轉(zhuǎn)速及勻膠時間可任意設(shè)置為Ⅰ檔、Ⅱ擋、……Ⅶ檔，轉(zhuǎn)速啟動后先低速運轉(zhuǎn)（Ⅰ檔），然后自動執(zhí)行Ⅱ檔、……Ⅶ檔，直至達到高速運轉(zhuǎn)。

主要技術(shù)指標(biāo)

1、勻膠時間：1～9999s 任意時間可設(shè)置

2、勻膠速度：0～8000rmp 可調(diào)

3、旋轉(zhuǎn)加速度：0～8000rpm/sec

4、加速時間：0.1s～0.5s

5、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度：±1rmp

6、涂膠均勻性：±3%

7、可鍍膜尺寸：Ф5～Ф150mm（6″）

8、基片厚度： ≤5mm

9、設(shè)備配置Ф200mm 接膠裝置

10、電機額定功率 90W，額定轉(zhuǎn)速 8000rmp

11、輸入電源： AC220V/240V 50HZ

12、機身尺寸： 280×360×240mm

13、機身重量：10Kg

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