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北京卓騰科儀科技有限公司


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化學(xué)機械拋光機

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產(chǎn)品型號TriboLab CMP

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地北京市

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更新時間:2026-05-23 07:48:22瀏覽次數(shù):75次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:151條

所在地區(qū):

產(chǎn)品簡介

儀器名稱:化學(xué)機械拋光機 品牌:布魯克 型號:TriboLabCMP 產(chǎn)地:美國 儀器介紹: 1.加載方式:伺服控制閉環(huán)加載

詳細介紹

儀器名稱:化學(xué)機械拋光機

品牌:  布魯克

型號:TriboLab CMP

產(chǎn)地:美國

儀器介紹:

1.加載方式:伺服控制閉環(huán)加載;
2.樣片夾持方式:水表面張力吸附夾持;
3.拋光速率(硅晶圓片):300nm/min;
4.最小粗糙度(硅晶圓片):1nm;

5.化學(xué)機械拋光機主要用于Si、SiC、Ge、GaN等半導(dǎo)體材料,SiO2、Si3N4、CeO2、GeO、Al2O3等金屬氧化物以及Al普通金屬和Au、Pt等惰性金屬的化學(xué)機械拋光工藝。


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