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手動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀

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更新時(shí)間：2023-08-23 14:58:20瀏覽次數(shù)：239次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

簡(jiǎn)要描述：EX1 手動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀是基于消光法（或稱“零橢偏"）橢偏測(cè)量原理，針對(duì)納米薄膜厚度測(cè)量領(lǐng)域推出的一款手動(dòng)教學(xué)儀器。

詳細(xì)介紹

EX1手動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀是基于消光法（或稱“零橢偏”）橢偏測(cè)量原理，針對(duì)納米薄膜厚度測(cè)量領(lǐng)域推出的一款手動(dòng)教學(xué)儀器。

EX1 儀器適用于納米薄膜的厚度測(cè)量、以及納米薄膜的厚度和折射率測(cè)量。

EX1儀器還可用于測(cè)量塊狀材料（如，金屬、半導(dǎo)體、介質(zhì)）的折射率n和消光系數(shù)k。

特點(diǎn)：

· 消光法橢偏測(cè)量原理

儀器采用消光法橢偏測(cè)量原理，易于操作者理解和掌握橢偏測(cè)量基本原理和過(guò)程。

· 方便的樣品水平放置方式

采用水平放置樣品，方便樣品取放。

· 精巧的一體化結(jié)構(gòu)

集成一體化設(shè)計(jì)，精巧的儀器外形，方便地顯示儀器測(cè)量過(guò)程中的光強(qiáng)信息。

· 高準(zhǔn)確性的激光光源

采用激光作為探測(cè)光波，測(cè)量波長(zhǎng)準(zhǔn)確度高。

· 實(shí)用的樣品測(cè)量功能

可測(cè)量納米薄膜的膜厚和折射率、塊狀材料的復(fù)折射率。

· 方便的儀器手動(dòng)操作

手動(dòng)完成測(cè)量，儀器軟件輔助進(jìn)行測(cè)量數(shù)據(jù)的分析。

· 可擴(kuò)展的儀器功能

利用本儀器，可通過(guò)適當(dāng)擴(kuò)展，完成多項(xiàng)偏振測(cè)量實(shí)驗(yàn)，如馬呂斯定律實(shí)驗(yàn)、旋光測(cè)量實(shí)、旋光等。

應(yīng)用：

EX1適合于教學(xué)領(lǐng)域，適用于單層納米薄膜的薄膜厚度測(cè)量，也可用于測(cè)量塊狀材料的折射率n和消光系數(shù)k。

EX1可測(cè)量的樣品涉及微電子、半導(dǎo)體、集成電路、顯示技術(shù)、太陽(yáng)電池、光學(xué)薄膜、生命科學(xué)、化學(xué)、電化學(xué)、磁質(zhì)存儲(chǔ)、平板顯示、聚合物及金屬表面處理等領(lǐng)域。

技術(shù)指標(biāo)：

項(xiàng)目	技術(shù)指標(biāo)
儀器型號(hào)	EX1
測(cè)量方式	手動(dòng)
樣品放置方式	水平放置
光源	He-Ne激光器，波長(zhǎng)632.8nm
探測(cè)光束直徑	Φ2-3mm
入射角度	30°-90°，步距5°，誤差0.1°
偏振器方位角讀數(shù)范圍	0-360°
偏振器刻度	1°/格
偏振器較小讀數(shù)	0.05°
樣品方位調(diào)整	Z軸高度調(diào)節(jié)：12mm 二維俯仰調(diào)節(jié)：±4°
允許樣品尺寸	樣品直徑可達(dá)Φ120mm
配套軟件	* 多個(gè)測(cè)量項(xiàng)目選擇 * 測(cè)量數(shù)據(jù)分析、計(jì)算、輸入輸出
較大外形尺寸	（入射角度70°時(shí)）長(zhǎng)寬高：556286405 mm
儀器重量（凈重）	13kg
選配件	* 激光二極管，波長(zhǎng)635nm

注：(1)測(cè)量重復(fù)性：是指對(duì)標(biāo)準(zhǔn)樣品上同一點(diǎn)、同一條件下連續(xù)測(cè)量30次所計(jì)算的標(biāo)準(zhǔn)差。

性能保證：

· ISO9001國(guó)際質(zhì)量體系認(rèn)證下的儀器質(zhì)量保證

· 專業(yè)的橢偏測(cè)量原理課程講授

· 專業(yè)的儀器使用培訓(xùn)

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