CSC系列半導體材料電學測量系統(tǒng)
CSC系列半導體材料電學測量系統(tǒng)是基于Partulab CPS系列低溫真空探針臺和Keithley 4200-CSC半導體參數分析集成設計而成，是一款常溫或高低溫條件下測量有機半導體器件、納米器件及薄膜材料電學性能測量的綜合性測量系統(tǒng)。該系統(tǒng)可以實現-160℃-400℃、空氣和真空條件下的半導體器件和材料電壓-電流（I-V）測量、超快脈沖電壓-電流（I-V）測量、電容-電壓（CV）測量、DLCP測量、電阻（RT）和電阻率（ρT）測量、Hall電壓測量等，廣泛就用于高校、科研、航空航天、院所等領域，是目前科研教學表征和測量半導體器件和薄膜材料的較佳綜合測量系統(tǒng)。
測試原理：
CSC系列半導體材料電學測量系統(tǒng)主要由Partulab CPS-7000低溫真空探針臺、Keithley 4200-CSC半導體參數分析儀和LVRMeaskit直流低溫電阻測量套件組成。系統(tǒng)配備Lakeshore336溫控儀可以與Keithley 4200-CSC和keysight B1500A半導體參數分析儀無縫連接，直接可以在半導體參數分析儀實現器件和材料的變溫電學測量，無需客戶再編寫應用程序，大大節(jié)約器件和材料研發(fā)時間。
樣品溫度準確性和溫度穩(wěn)定性是整個低溫系統(tǒng)的關鍵，系統(tǒng)配置3個低溫傳感器，一個在樣品臺上，一個在屏蔽罩上，一個在探針臂上，通過監(jiān)測三個地方的溫度，確保可以提供一個準確地控溫環(huán)境。為了避免探針臂的溫度傳送到樣品上，導致樣品溫度高于樣品臺溫度，探針臂和探針必須做熱沉處理。
Partulab CPS系列低溫真空探針臺
配置：
CPS-7000低溫真空探針臺（二選一）
--4軸或6軸液氮/液氦開環(huán)低溫探針臺
--Lakeshore 336溫控儀及傳感器
CPS-8000低溫真空探針臺（二選一）
--4軸或6軸GM制冷機閉環(huán)低溫探針臺
-Lakeshore 336溫控儀及傳感器
PPS-90真空輔助系統(tǒng)
--包含分子泵機組、真空閥門、真空測量
VSZ70KIT 可視化視覺系統(tǒng)
--7:1變焦、彩色CCD、同軸環(huán)形光可調電源
技術規(guī)格：
探針臂個數：4個或6個
測量溫度：-160℃~400℃/10k~675k
降溫時間：~45min to 110k AC
真空度：~106mbar
較大樣品尺寸：≤51mm
可視系統(tǒng)：7:1變焦，彩色CCD，同軸環(huán)形光可調電源
碳化鎢探針夾具阻抗：50Ω
電壓測量：1μV~200V，分辨率1μV
電流測量：100fA~1A，較小分辨率100fA
阻抗測量：1kHz至10MHz
測量參數：C電容
C-V測量的電壓：內置±30V DC偏置裝置
XYZ位移平臺行程：X軸51mm，精度20μm；Y軸25mm，精度10μm；Z軸25mm
QQ:2568841715
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