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ATTOCUBE原子力顯微鏡attoAFM III

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹attoAFMIII是一款專為低溫和超低溫應(yīng)用而設(shè)計的原子力顯微鏡

詳細介紹

產(chǎn)品介紹

attoAFM III 是一款專為低溫和超低溫應(yīng)用而設(shè)計的原子力顯微鏡。由于其基于音叉的非光學剪切力檢測技術(shù)，該系統(tǒng)非常適合光輸入受限的應(yīng)用，例如光敏樣品或基于激光的偏轉(zhuǎn)檢測系統(tǒng)會產(chǎn)生額外的熱負載和功率損耗。attoAFM III 顯微鏡的典型應(yīng)用是對半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)進行掃描門顯微鏡 (SGM) 成像。該顯微鏡兼容粘附在小型石英音叉一端的線型探針，以及市售的集成探針的音叉。當探針接近樣品時，由于探針與樣品相互作用引起的水平振蕩幅度減小會被監(jiān)測并/或用作反饋信號。該技術(shù)的力分辨率通常為 0.1 pN。

attoAFM III 可選配干涉編碼器，用于閉環(huán)掃描。該顯微鏡采用一組 xyz 定位器，可在數(shù)毫米范圍內(nèi)對樣品進行粗略定位；此外，還配備了專用的機械放大壓電式 xyz 掃描器，即使在低溫下也能實現(xiàn)超大掃描范圍。

對于掃描門顯微鏡實驗，attoAFM III 可配備 20 針芯片載物臺，從而在成像的同時進行傳輸測量，以探索可移動局部門對所研究介觀器件中電流的影響。

得益于我們功能且靈活的 Nanonis Mimea attocube 版 SPM 控制器的開放式信號架構(gòu)，專家們可以控制所有信號，同時保持非常友好的軟件界面。所有輸入和輸出信號均可通過前面板的 BNC 接口訪問，因此可以輕松地進行監(jiān)控、存儲，并用于額外的控制回路或光譜分析。

性能特點

基于音叉的原子力顯微鏡傳感器，采用線狀探針：高品質(zhì)因數(shù)，靈敏度高
閉環(huán)掃描（可選）：易于檢索感興趣區(qū)域
非光學偏轉(zhuǎn)檢測：對低至毫開爾文的二維電子氣進行掃描門顯微鏡成像

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地	德國
通用規(guī)格
儀器類型	基于音叉的原子力顯微鏡 (AFM)，采用剪切力或標準檢測
傳感器頭規(guī)格	蝕刻金屬線、蝕刻或拉制光纖探針、掃描隧道顯微鏡 (STM) 探針、Akiyama 探針（也兼容 NaugaNeedles 商用探針）
工作模式
成像模式	非接觸式 AFM、EFM、SGM
斜率補償	雙軸掃描平面校正
z 反饋	使用內(nèi)置鎖相環(huán) (PLL) 實現(xiàn)振幅調(diào)制 (AM)、相位調(diào)制 (PM) 或頻率調(diào)制 (FM) 的 PI 反饋回路，恒力
可選升級	AFM/STM 模式
分辨率
測得的 z 噪聲密度	< 16 pm/√Hz
z 位分辨率 @ 4 K	2 µm 掃描范圍內(nèi) 7.6 pm
樣品定位
總行程范圍	5 x 5 x 5 mm³（開環(huán)）
步長	0.05 至 3 µm @ 300 K，10 至 500 nm @ 4 K
精細掃描范圍	50 x 50 x 4.2 µm³ @ 300 K，30 x 30 x 2 µm³ @ 4 K（開環(huán)）
樣品架	ASH/QE/0 快速更換樣品架，帶集成加熱器和校準溫度傳感器
適用工作條件
溫度范圍	1.8 K 至 300 K（取決于低溫恒溫器）；可根據(jù)要求提供 mK 兼容設(shè)置
磁場范圍	0 至 15 T+（取決于磁體）
工作壓力設(shè)計	用于氦氣交換氣體（可根據(jù)要求提供低至 1E-6 mbar 的真空兼容版本）
適用冷卻系統(tǒng)
鈦合金外殼直徑	48 毫米
孔徑要求	適用于 2 英寸（50.8 毫米）低溫恒溫器/磁體孔徑
兼容低溫恒溫器	attoDRY2200、attoDRY1000
電子設(shè)備兼容性
掃描控制器和軟件	ASC500、Nanonis Mimea