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Opto Alignment4D表面和厚膜輪廓儀QuickPRO-OCT

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹QuickPRO-OCT結(jié)合了單點(diǎn)可見光光譜域光學(xué)相干斷層掃描(SD-OCT)傳感器和高速納米編碼X/Y/Z運(yùn)動控制平臺，可在單次測量中捕獲透明薄膜樣品中每一層的平面結(jié)構(gòu)，測量頻率高達(dá)66kHz

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹

QuickPRO-OCT 結(jié)合了單點(diǎn)可見光光譜域光學(xué)相干斷層掃描 (SD-OCT) 傳感器和高速納米編碼 X/Y/Z 運(yùn)動控制平臺，可在單次測量中捕獲透明薄膜樣品中每一層的平面結(jié)構(gòu)，測量頻率高達(dá) 66 kHz。QuickPRO-OCT 的穿透深度（高達(dá) 100 µm）和軸向分辨率（5 nm）針對半導(dǎo)體、生命科學(xué)等行業(yè)中多層透明薄膜、平面基底和功能層的測量進(jìn)行了優(yōu)化。

性能特點(diǎn)

緊湊型臺式設(shè)備，配備環(huán)境防護(hù)罩。
單點(diǎn)、非接觸式、可見光光譜域光學(xué)相干斷層掃描 (SD-OCT) 傳感器，測量速率高達(dá) 66 kHz。
針對高反射材料上多層透明薄膜的形貌和厚度測量進(jìn)行了優(yōu)化。
采用納米級編碼的 X/Y/Z 運(yùn)動，配備磁力線性電機(jī)和交叉滾子軸承，可實(shí)現(xiàn) 100mm (X)、100mm (Y)、50mm (Z) 的快速光柵或螺旋掃描。
可選配真空吸盤，用于樣品和托盤的固定。
用戶友好的 CalcuSurf-4D 配方生成、數(shù)據(jù)采集、表面形貌和多層薄膜分析軟件，可優(yōu)化測量采樣密度，從而在高通量下實(shí)現(xiàn)覆蓋率。

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地	美國
系統(tǒng)
尺寸（長x 寬x 高）	535mm x 380mm x 510mm
重量	約60kg
系統(tǒng)控制器	運(yùn)動和傳感器控制；高速數(shù)據(jù)鏈路
電源要求	110-220V 交流電，50-60 Hz，2 A（220V），5 A（110V）
運(yùn)動
測量區(qū)域（XYZ）	100mm x 100mm x 50mm
位置精度	< 1μm
驅(qū)動類型	帶磁力平衡的線性伺服電機(jī)
平臺速度	100mm/s
掃描類型/路徑	螺旋、光柵、用戶自定義
負(fù)載能力	5kg
傳感器
技術(shù)	光譜域光學(xué)相干斷層掃描（非接觸式厚度測量）
應(yīng)用	輪廓和厚度測量
采樣率	高達(dá) 66kHz
可用探頭	V-1、N-2、N-3
橫向分辨率	6.5μm、3μm、3μm
工作距離	10.6mm、40mm、40mm
軸向分辨率	1nm、1nm、4nm
斜率max.	±10°、±5°、±5°
厚度范圍（光程差）	2μm - 180μm、16μm - 2600μm、114μm -、12.6mm
測量
軸向測量精度	≤ 0.001mm
厚度精度	< 0.001mm，取決于折射率