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天津瑞利光電科技有限公司


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Altimet三維輪廓儀Altisurf 530

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產(chǎn)品型號(hào)Altisurf 530

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地天津市

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更新時(shí)間:2026-06-04 07:08:25瀏覽次數(shù):61次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品介紹AltiSurf530專為納米技術(shù)應(yīng)用而開(kāi)發(fā),具備晶圓自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)功能

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹

AltiSurf 530 專為納米技術(shù)應(yīng)用而開(kāi)發(fā),具備晶圓自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)功能。與 AltiSurf 系列所有 3D 輪廓儀一樣,AltiSurf 530 工作站采用新的光學(xué)點(diǎn)或線傳感器技術(shù),其 300x300 毫米的大尺寸使其非常適合在生產(chǎn)或研發(fā)中使用大型零件和樣品。

性能特點(diǎn)
  • 可測(cè)量各種表面(粗糙、透明、黑色、拋光……)
  • 測(cè)量范圍和技術(shù)選擇豐富(共焦、干涉、接觸式)
  • 光學(xué)測(cè)量:對(duì)被測(cè)部件無(wú)損傷
  • 測(cè)量區(qū)域300x300x300mm
  • 每個(gè)測(cè)量點(diǎn)分辨率相同 – 數(shù)據(jù)精度高
  • 相機(jī)與其他兩個(gè)傳感器自動(dòng)切換
  • 內(nèi)置測(cè)量協(xié)議
  • 易于使用的界面:協(xié)議自動(dòng)化
技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地

法國(guó)

測(cè)量原理

非接觸式、光學(xué)式,基于共聚焦色差技術(shù)、干涉法及其他

測(cè)量體積 (X x Y x Z)

300mm x 300mm x 100mm

(可選 Z 軸 200mm 或 300mm)

平臺(tái)移動(dòng)速度

max. 100mm/s

平臺(tái)平面度(校正后)

2 µm/300mm(小于 1 µm/300mm)

測(cè)量范圍

100µm 至 25mm

Z 軸分辨率

低至 2nm

橫向分辨率

0.7µm

測(cè)量角度

max. 90° ± 45°(可選旋轉(zhuǎn)軸)

臺(tái)階高度精度 (1µm)

0.005%

可測(cè)量粗糙度 (Ra / Sa)

20nm / 20nm

可測(cè)量厚度

1µm

標(biāo)準(zhǔn)

ISO 4287、ISO 25178

采集軟件

Phénix V2

分析軟件

PhénixMap


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