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行業(yè)產(chǎn)品

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天津瑞利光電科技有限公司


當(dāng)前位置:天津瑞利光電科技有限公司>>光學(xué)檢測設(shè)備>>表面檢測設(shè)備>>Altimet晶圓測試儀Altisurf 500

Altimet晶圓測試儀Altisurf 500

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號Altisurf 500

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地天津市

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更新時間:2026-06-03 13:57:07瀏覽次數(shù):39次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹AltiSurf500是AltiSurf系列的產(chǎn)品

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹

AltiSurf 500 是 AltiSurf 系列的產(chǎn)品。這款計量站融合了新的光學(xué)點或線傳感器技術(shù)。無論您需要分析的材料種類繁多(金屬、玻璃、紡織品等),還是需要進行質(zhì)量控制(粗糙度、形狀、尺寸),這款儀器都能滿足您的實驗室測量需求。

AltiSurf 500 的模塊化架構(gòu)及其豐富的可選配置,可為您提供自動化生產(chǎn)控制和實驗室表征的一站式解決方案。

性能特點
  • 可測量各種表面(粗糙、透明、黑色、拋光……)
  • 測量范圍和技術(shù)選擇豐富(共焦、干涉、接觸式)
  • 光學(xué)測量:對被測部件無損傷
  • 測量區(qū)域100x100x100mm
  • 每個測量點分辨率相同 – 數(shù)據(jù)精度高
  • 相機與另外兩個傳感器自動切換
  • 內(nèi)置測量協(xié)議
  • 易于使用的界面:協(xié)議自動化
技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地

法國

測量原理

非接觸式、光學(xué)式,基于共焦技術(shù)

色差技術(shù)、干涉法及其他

測量體積(X x Y x Z)

100mm x 100mm x 100mm

平臺移動速度

可達 100mm/s

平臺平面度(校正后)

2 µm/100mm(小于 1 µm/100mm)

測量范圍

100µm 至 25mm

Z 軸分辨率

低至 2nm

橫向分辨率

0.7µm

測量角度

可達 90° ± 45°(可選旋轉(zhuǎn)軸)

臺階高度精度(1µm)

0.005%

可測量粗糙度(Ra / Sa)

20nm / 20nm

可測量厚度

1µm

標(biāo)準(zhǔn)

ISO 4287、ISO 25178

采集軟件

Phénix V2

分析軟件

PhénixMap


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