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行業(yè)產(chǎn)品

  • 行業(yè)產(chǎn)品

天津瑞利光電科技有限公司


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LEJ深紫外線系統(tǒng)lh-qx-100.60+ebqx 100-

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產(chǎn)品型號(hào)lh-qx-100.60+ebqx 100-

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地天津市

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更新時(shí)間：2026-06-01 11:49:31瀏覽次數(shù)：50次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品介紹該深紫外照明系統(tǒng)采用高度穩(wěn)定的直流電源，且無(wú)熱漂移，可提供非常穩(wěn)定的紫外照明

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹

該深紫外照明系統(tǒng)采用高度穩(wěn)定的直流電源，且無(wú)熱漂移，可提供非常穩(wěn)定的紫外照明。燈管、反射鏡和集電極的準(zhǔn)確、可重復(fù)調(diào)節(jié)，確保了更好的對(duì)準(zhǔn)。該系統(tǒng)是晶圓檢測(cè)、光學(xué)元件審查和光掩模分析的理想之選，尤其適用于檢查精細(xì)結(jié)構(gòu)和線寬中的誤差和缺陷。

性能特點(diǎn)
  • 無(wú)熱漂移
  • 可重復(fù)的機(jī)械調(diào)節(jié)
  • 點(diǎn)火裝置集成在燈體中
  • 緊湊型燈體
  • 安全電路功能
產(chǎn)品結(jié)構(gòu)與細(xì)節(jié)

1、燈殼：lh-qx 100.60

0000013780

2、鎮(zhèn)流器：ebqx 100-04

0000008708

3、紫外收集器光學(xué)元件（客戶要求）

4、濱松燈管：L8029 / L2422

0000013812 /0000018455

5、顯微鏡適配器（客戶要求）

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地

德國(guó)

燈體 lh-qx-100.60

固定方式

燈體通過(guò)法蘭或燕尾槽固定，燈泡通過(guò)帶 x、y 軸調(diào)節(jié)的燈座固定

點(diǎn)火裝置

集成式高壓點(diǎn)火裝置

反射器

帶 x、y、z 軸調(diào)節(jié)的反射鏡

集光器

帶 z 軸調(diào)節(jié)

安全

符合 EN 61010-1 標(biāo)準(zhǔn)

設(shè)備防護(hù)等級(jí)

I 級(jí)

防護(hù)等級(jí)

IP 20 (EN 60529)

安全電路

打開時(shí)斷電

環(huán)境溫度

0°C 至 +40°C

尺寸（高 x 寬 x 深）

169 x 126 x 154 毫米

重量

3.4 千克

鎮(zhèn)流器 ebqx 100-

功能

適用于 100 瓦汞氙燈

燈泡型號(hào)

濱松 L8029-01、L2422-01

燈泡連接

M1 6+PE插座，Schaltbau

安全

安全電路，過(guò)熱保護(hù)

輸入?yún)?shù)

市電電壓

90 至 264 VAC

電源頻率

47 至 63 Hz

功耗

170 VA

輸出參數(shù)

工作模式

恒流

功率

max. 130 W

輸出電流

5.5 ± 0.3 A

空載電壓

60 ± 5 VDC

燈泡電壓

10 至 18 VDC

點(diǎn)火電壓

外部點(diǎn)火裝置

尺寸（寬 x 高 x 深）

167 x 85 x 222 mm

重量

2.0 kg

產(chǎn)品應(yīng)用

用于光掩模光學(xué)檢查和分析的照明設(shè)備，尤其適用于檢測(cè)結(jié)構(gòu)和線寬方面的錯(cuò)誤或缺陷

晶圓檢測(cè)

去污


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