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天津瑞利光電科技有限公司


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Plymouth二維衍射光柵PGL 2D

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號PGL 2D

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地天津市

包裝印刷網(wǎng)采購部電話：0571-88918531QQ:2568841715

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更新時間：2026-05-31 13:22:25瀏覽次數(shù)：51次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹PGL2D光柵的高精度源于其納米尺（Nanoruler），該納米尺基于麻省理工學(xué)院（MIT）自主研發(fā)的SBIL（掃描光束干涉光刻）技術(shù)

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹

PGL 2D光柵的高精度源于其納米尺（Nanoruler），該納米尺基于麻省理工學(xué)院（MIT）自主研發(fā)的SBIL（掃描光束干涉光刻）技術(shù)。納米尺包含一個氣浮XY平臺，平臺上安裝有雙軸DMI（數(shù)字干涉儀），并配備主動隔振系統(tǒng)，置于溫度控制精度為±0.01°C的環(huán)境控制箱內(nèi)。它能夠掃描一束由外差相位參考干涉法主動穩(wěn)定、并可實時調(diào)節(jié)條紋頻率和方向的細(xì)小條紋，掃描范圍覆蓋任意方向的大尺寸基板。

這些特性，加上對基板尺寸無根本限制，使得PGL的SBIL工藝成為大型2D光柵的理想解決方案。

性能特點
  • 優(yōu)良的衍射波前誤差
  • 全孔徑范圍內(nèi)高度均勻性
  • 堅固的蝕刻結(jié)構(gòu)
  • 高的特征定位精度
  • 可實現(xiàn)二維空間變化周期
技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地

美國

光柵類型

反射式或透射式

衍射效率

多級

波前誤差

< λ/4（取決于尺寸）

激光損傷閾值

中-高（取決于類型）

帶寬

低（通常為單波長）

空間變化周期

2D

溫度控制精度

±0.01°C

隔振系統(tǒng)

主動

數(shù)字干涉儀

雙軸

產(chǎn)品應(yīng)用

用于定位和計量的高精度標(biāo)尺，尤其適用于對線性度和精度要求非常高的場合。

位移測量干涉儀 (DMI) 的替代方案。


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