天津瑞利光電科技有限公司
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產品介紹ECSx3080在50毫米行程范圍內提供高分辨率定位
ECSx3080在50毫米行程范圍內提供高分辨率定位。其采用交叉滾子軸承實現高導引精度。
該定位器專為高真空環(huán)境設計，可承受低至1×10-8毫巴的真空壓力。不銹鋼材質堅固耐用且經濟有效率，適用于納米定位器主體制造，可滿足包括高真空在內的嚴苛真空條件要求。
| 產地 | 德國 |
| 尺寸與規(guī)格 |
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| 占地面積；高度 | 30 mm × 80 mm；9.5 mm |
| 安裝空間 | max.30 mm × 131.6 mm；9.5 mm |
| 重量（不銹鋼版本） | 147 g |
| 高度 | 9.5 mm |
| 電纜 | 50 cm 帶連接器的電纜 |
| 材料 |
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| 定位器主體 | 不銹鋼 |
| 致動器 | PZT陶瓷 |
| 連接線 | 銅芯 |
| 護套 |
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| RT環(huán)境 | PTFE |
| HV/UHV環(huán)境 | 玻璃纖維 |
| 粗定位模式 |
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| 行程范圍（步進模式） | 50毫米 |
| 驅動速度 @ 300 K | max.4.5毫米/秒 |
| 輸入電壓范圍 | 0 - 45伏 |
| 精細定位模式 |
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| 精細線性定位范圍 @ 300 K | 1.6 µm |
| 精細定位分辨率 | 亞納米級 |
| 直流輸入電壓范圍 | 0 - 45 V |
| 負載（常溫條件下） |
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| 負載 | max.2 kg |
| 軸向動態(tài)力 | max.1 N |
| 通用規(guī)格 |
|
| 工作環(huán)境 | 高真空 |
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