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三河建華高科有限責(zé)任公司
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廠商性質(zhì)其他
所 在 地廊坊市
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更新時(shí)間：2025-09-21 10:00:27瀏覽次數(shù)：74次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 包裝印刷網(wǎng)該設(shè)備主要用于半導(dǎo)體分立器件，光電器件以及集成電路晶圓上各個(gè)芯片的電參數(shù)分析、測(cè)試
該設(shè)備主要用于半導(dǎo)體分立器件，光電器件以及集成電路晶圓上各個(gè)芯片的電參數(shù)分析、測(cè)試。該設(shè)備配接測(cè)試儀后，能自動(dòng)完成芯片的電參數(shù)測(cè)試功能。
主要技術(shù)特點(diǎn)
界面顯示
*Windows友好界面，動(dòng)態(tài)顯示測(cè)試過程
*圖像識(shí)別及自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)
*MAP圖顯示、支持大量數(shù)據(jù)存儲(chǔ)
*具有同步打點(diǎn)、延時(shí)打點(diǎn)、離線打點(diǎn)功能
*自動(dòng)測(cè)試方式靈活多樣（矩陣、編輯、圓形等）
*具有壞點(diǎn)重測(cè)功能
工作臺(tái)機(jī)構(gòu)
采用精密導(dǎo)軌絲杠，步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)高速度、高精度；高強(qiáng)度零部件，運(yùn)行穩(wěn)定性強(qiáng)。
承片臺(tái)
*采用精密絲杠，伺服及步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)高速度、高精度
*高精度真空吸盤，適用于5″～8″晶圓片
*Z向高精度運(yùn)動(dòng)，高速運(yùn)動(dòng)的同時(shí)兼顧設(shè)備平穩(wěn)運(yùn)行
*θ向高精度運(yùn)動(dòng)，確保晶圓掃正精度高，效率高
電控系統(tǒng)
*采用高性能計(jì)算機(jī)，Windows操作系統(tǒng)，液晶顯示器
*低輻射電控系統(tǒng)設(shè)計(jì)，抗干擾能力強(qiáng)，可實(shí)現(xiàn)2000V以內(nèi)高壓測(cè)試
*TTL專用接口，支持RS-232接口（可選），GPIB-488接口（可選）
主要技術(shù)指標(biāo)
√ 可測(cè)片徑：5″、6″、8″
√ 工作臺(tái)行程：240mm×300mm
√ 定位精度：≤±0.010mm/200mm
√ 工作臺(tái)速度:200mm/s
√ 步進(jìn)分辨：0.001mm
√ 承片臺(tái)Z向行程：20mm
√ Z向定位精度：≤±0.003mm
√ Z向分辨率：0.001mm
√ θ向調(diào)節(jié)范圍：±6°
√ θ自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)精度：≤±0.01°
√ 步距范圍：0.005mm～100mm
√ 觀察裝置：顯微鏡放大倍數(shù)14×～90×
√ 外形尺寸：750mm×1250mm×1600mm
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