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電機轉速濺射薄膜

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廣州英鵬光電科技有限公司

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產品簡介

詳細介紹

一般工作距離可調，距離越近，濺射速度越快，但熱損傷會增加。離子流的大小通過控制真空壓力實現，真空度越低，I越大，濺射速度越快，原子結晶晶粒越粗，電子轟擊樣品（陽極）產生的熱量越高；真空度越高,I 越小，濺射速度越慢，原子結晶晶粒越細小，電子轟擊樣品產生的熱量小。加速電壓為固定,也有可調的，加速電壓越高，對樣品熱損傷越大。一般使用金屬靶材的正比區(qū)域。有些熱敏樣品，需要對樣品區(qū)進行冷卻，水冷或者帕爾貼冷卻；也可以采用磁控裝置，像電磁透鏡一樣把電子偏離樣品。經過這樣的改造，當然會增加很高的成本?？梢栽谑灡砻鏋R射一層金屬，而沒有任何損傷！真空中的雜質越多，鍍膜質量越差。一般黃金比較穩(wěn)定，可以采用空氣作為等離子氣源，而其他很多靶材則需要惰性氣體為好。氣體原子序數越高，動量越大，濺射越快，但晶粒會較粗，連續(xù)成膜的膜層較厚。保持真空室的潔凈對高質量的鍍膜有很大好處。不要讓機械真空泵長期保持極限真空，否則容易反油。

1.主機規(guī)格：340mm×390mm×300mm（W×D×H）

2.靶（上部電極）：金：50mm×0.1mm（D×H）

3.靶材：Au（標配）

4.樣品室：硼硅酸鹽玻璃160mm×120mm（D×H）

5.靶材尺寸：Ф50mm

6.真空指示表：真空度：≤ 4X10-2 mbar

7.離子電流表：電流：50mA

8.定時器：最長時間：1-360s

9.微型真空氣閥：可連接φ3mm軟管

10.可通入氣體：多種

11.電壓： -2800 DCV

12.機械泵：標準配置2L/S（國產VRD-8）

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