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廣州英鵬光電科技有限公司


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雙靶磁控濺射儀

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參   考   價(jià): ￥ 9999

訂  貨  量: ≥1  件

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地廣州市

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更新時(shí)間：2023-03-20 09:23:16瀏覽次數(shù)：275次

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經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：197條

所在地區(qū)：廣東廣州市

聯(lián)系人：黃女士 （客服）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

一般工作距離可調(diào)，距離越近，濺射速度越快，但熱損傷會(huì)增加。
離子流的大小通過控制真空壓力實(shí)現(xiàn)，真空度越低，I越大，濺射速度越快，原子結(jié)晶晶粒越粗，電子轟擊樣品（陽極）產(chǎn)生的熱量越高；真空度越高,I 越小，濺射速度越慢，原子結(jié)晶晶粒越細(xì)小，電子轟擊樣品產(chǎn)生的熱量小。
加速電壓為固定,也有可調(diào)的，加速電壓越高，對(duì)樣品熱損傷越大。一般使用金屬靶材的正比區(qū)域。

詳細(xì)介紹

一般工作距離可調(diào)，距離越近，濺射速度越快，但熱損傷會(huì)增加。離子流的大小通過控制真空壓力實(shí)現(xiàn)，真空度越低，I越大，濺射速度越快，原子結(jié)晶晶粒越粗，電子轟擊樣品（陽極）產(chǎn)生的熱量越高；真空度越高,I 越小，濺射速度越慢，原子結(jié)晶晶粒越細(xì)小，電子轟擊樣品產(chǎn)生的熱量小。加速電壓為固定,也有可調(diào)的，加速電壓越高，對(duì)樣品熱損傷越大。一般使用金屬靶材的正比區(qū)域。有些熱敏樣品，需要對(duì)樣品區(qū)進(jìn)行冷卻，水冷或者帕爾貼冷卻；也可以采用磁控裝置，像電磁透鏡一樣把電子偏離樣品。經(jīng)過這樣的改造，當(dāng)然會(huì)增加很高的成本?？梢栽谑灡砻鏋R射一層金屬，而沒有任何損傷！真空中的雜質(zhì)越多，鍍膜質(zhì)量越差。一般黃金比較穩(wěn)定，可以采用空氣作為等離子氣源，而其他很多靶材則需要惰性氣體為好。氣體原子序數(shù)越高，動(dòng)量越大，濺射越快，但晶粒會(huì)較粗，連續(xù)成膜的膜層較厚。保持真空室的潔凈對(duì)高質(zhì)量的鍍膜有很大好處。不要讓機(jī)械真空泵長(zhǎng)期保持極限真空，否則容易反油。

儀器尺寸 ：主機(jī)  300mm×360mm×380mm（W×D×H）

       蒸鍍  300mm×360mm×160mm（W×D×H）

真空樣品室： 硼硅酸鹽玻璃 160mm×110mm（D×H）

靶（上部電極）：50mm×0.1mm（D×H）

濺射靶材：Au

濺射靶材大?。?/span>φ50mm

樣品臺(tái)：樣品臺(tái)尺寸可安裝直徑50mm和直徑70mm的樣品臺(tái)，樣品臺(tái)可調(diào)節(jié)高度。也可根據(jù)自身要求定制樣品臺(tái)

濺射工作電壓：0-1600V (DC)可調(diào)

濺射電流：0-50mA

濺射定時(shí)：0-360S

蒸碳電流  0-100A(AC)

蒸發(fā)材料：碳纖維 

蒸發(fā)工作電壓：0-30V

蒸發(fā)時(shí)間：0-1S微型真空氣閥：可連接φ3mm軟管

可通入氣體： 多種

輸入電壓：220V(可做110V),50HZ

真空泵：  2升機(jī)械旋轉(zhuǎn)泵（國(guó)產(chǎn)VRD-8）

價(jià)格面議


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