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廣州英鵬光電科技有限公司


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高真空磁控濺射儀

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參   考   價(jià): ￥ 9999

訂  貨  量: ≥1  件

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地廣州市

包裝印刷網(wǎng)采購部電話：0571-88918531QQ:2568841715

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更新時(shí)間：2023-03-20 09:19:05瀏覽次數(shù)：255次

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經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：197條

所在地區(qū)：廣東廣州市

聯(lián)系人：黃女士 （客服）

產(chǎn)品簡介

一般工作距離可調(diào)，距離越近，濺射速度越快，但熱損傷會增加。
離子流的大小通過控制真空壓力實(shí)現(xiàn)，真空度越低，I越大，濺射速度越快，原子結(jié)晶晶粒越粗，電子轟擊樣品（陽極）產(chǎn)生的熱量越高；真空度越高,I 越小，濺射速度越慢，原子結(jié)晶晶粒越細(xì)小，電子轟擊樣品產(chǎn)生的熱量小。
加速電壓為固定,也有可調(diào)的，加速電壓越高，對樣品熱損傷越大。一般使用金屬靶材的正比區(qū)域。

詳細(xì)介紹

一般工作距離可調(diào)，距離越近，濺射速度越快，但熱損傷會增加。離子流的大小通過控制真空壓力實(shí)現(xiàn)，真空度越低，I越大，濺射速度越快，原子結(jié)晶晶粒越粗，電子轟擊樣品（陽極）產(chǎn)生的熱量越高；真空度越高,I 越小，濺射速度越慢，原子結(jié)晶晶粒越細(xì)小，電子轟擊樣品產(chǎn)生的熱量小。加速電壓為固定,也有可調(diào)的，加速電壓越高，對樣品熱損傷越大。一般使用金屬靶材的正比區(qū)域。有些熱敏樣品，需要對樣品區(qū)進(jìn)行冷卻，水冷或者帕爾貼冷卻；也可以采用磁控裝置，像電磁透鏡一樣把電子偏離樣品。經(jīng)過這樣的改造，當(dāng)然會增加很高的成本。可以在石蠟表面濺射一層金屬，而沒有任何損傷！真空中的雜質(zhì)越多，鍍膜質(zhì)量越差。一般黃金比較穩(wěn)定，可以采用空氣作為等離子氣源，而其他很多靶材則需要惰性氣體為好。氣體原子序數(shù)越高，動(dòng)量越大，濺射越快，但晶粒會較粗，連續(xù)成膜的膜層較厚。保持真空室的潔凈對高質(zhì)量的鍍膜有很大好處。不要讓機(jī)械真空泵長期保持極限真空，否則容易反油。

主機(jī)規(guī)格：300mm×360mm×380mm（W×D×H）

靶（上部電極）：50mm×0.1mm（D×H）

靶材：Au（標(biāo)配）也可根據(jù)實(shí)際情況配備銀靶、鉑靶等。

樣品室：硼硅酸鹽玻璃160mm×120mm（D×H）

樣品臺尺寸：可安裝直徑50mm和直徑70mm的樣品臺，也可根據(jù)自身要求定樣品臺

靶材尺寸：Ф50mm    

真空指示表： 真空度：≤ 4X10-2   mbar

離子電流表： 電流：50mA

定時(shí)器：最長時(shí)間：0-360S

微型真空氣閥：可連接φ3mm軟管

可通入氣體： 多種

電壓：  -1600  DCV

機(jī)械泵：標(biāo)準(zhǔn)配置2L/S（國產(chǎn)VRD-8）

輸入電壓：220V(可做110V),50HZ

價(jià)格面議


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