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行業(yè)產(chǎn)品

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廣州英鵬光電科技有限公司


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靶等離子濺射儀

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參   考   價: ￥ 9999

訂  貨  量: ≥1  件

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質生產(chǎn)商

所  在  地廣州市

包裝印刷網(wǎng)采購部電話：0571-88918531QQ:2568841715

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更新時間：2023-03-20 08:55:05瀏覽次數(shù)：317次

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經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：197條

所在地區(qū)：廣東廣州市

聯(lián)系人：黃女士 （客服）

產(chǎn)品簡介

一般工作距離可調，距離越近，濺射速度越快，但熱損傷會增加。
離子流的大小通過控制真空壓力實現(xiàn)，真空度越低，I越大，濺射速度越快，原子結晶晶粒越粗，電子轟擊樣品（陽極）產(chǎn)生的熱量越高；真空度越高,I 越小，濺射速度越慢，原子結晶晶粒越細小，電子轟擊樣品產(chǎn)生的熱量小。
加速電壓為固定,也有可調的，加速電壓越高，對樣品熱損傷越大。一般使用金屬靶材的正比區(qū)域。

詳細介紹

一般工作距離可調，距離越近，濺射速度越快，但熱損傷會增加。離子流的大小通過控制真空壓力實現(xiàn)，真空度越低，I越大，濺射速度越快，原子結晶晶粒越粗，電子轟擊樣品（陽極）產(chǎn)生的熱量越高；真空度越高,I 越小，濺射速度越慢，原子結晶晶粒越細小，電子轟擊樣品產(chǎn)生的熱量小。加速電壓為固定,也有可調的，加速電壓越高，對樣品熱損傷越大。一般使用金屬靶材的正比區(qū)域。有些熱敏樣品，需要對樣品區(qū)進行冷卻，水冷或者帕爾貼冷卻；也可以采用磁控裝置，像電磁透鏡一樣把電子偏離樣品。經(jīng)過這樣的改造，當然會增加很高的成本。可以在石蠟表面濺射一層金屬，而沒有任何損傷！真空中的雜質越多，鍍膜質量越差。一般黃金比較穩(wěn)定，可以采用空氣作為等離子氣源，而其他很多靶材則需要惰性氣體為好。氣體原子序數(shù)越高，動量越大，濺射越快，但晶粒會較粗，連續(xù)成膜的膜層較厚。保持真空室的潔凈對高質量的鍍膜有很大好處。不要讓機械真空泵長期保持極限真空，否則容易反油。

安裝條件

本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用.



1、水：不需要



2、電：AC220V50Hz,必須有良好接地



3、氣：設備腔室內需充注氣氣（純度99.99%以上），需自備氛氣氣瓶（帶壓減閥）






4.工作臺：尺寸600mm×600mm×700mm,,承重50ka以上



5、通風裝置：不需要


主要參數(shù)

1、輸入功率：110V/220V通用2000W(含真空泵)



2、輸出功率：1600VDC50mA(電流)



3、石英置：0160mm×120mm



4、樣品臺：050mm(可選購加熱型樣品臺，溫度可到500℃：最長濺射時間不可超過5min)



5、真空泵：120L/M旋片式真空泵






7、靶材：尺寸直徑047mm,厚度0.1mm-3mm;可濺射Au、Ag、Pt、Cr、Ni





產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：360mm×350mm×3600mm;



重量：50kg


可選配件

1、KF25真空接口、卡箍


























價格面議


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