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直流離子濺射儀

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更新時間：2023-03-20 08:52:25瀏覽次數(shù)：213次

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廣州英鵬光電科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

詳細介紹

一般工作距離可調(diào)，距離越近，濺射速度越快，但熱損傷會增加。離子流的大小通過控制真空壓力實現(xiàn)，真空度越低，I越大，濺射速度越快，原子結晶晶粒越粗，電子轟擊樣品（陽極）產(chǎn)生的熱量越高；真空度越高,I 越小，濺射速度越慢，原子結晶晶粒越細小，電子轟擊樣品產(chǎn)生的熱量小。加速電壓為固定,也有可調(diào)的，加速電壓越高，對樣品熱損傷越大。一般使用金屬靶材的正比區(qū)域。有些熱敏樣品，需要對樣品區(qū)進行冷卻，水冷或者帕爾貼冷卻；也可以采用磁控裝置，像電磁透鏡一樣把電子偏離樣品。經(jīng)過這樣的改造，當然會增加很高的成本?？梢栽谑灡砻鏋R射一層金屬，而沒有任何損傷！真空中的雜質(zhì)越多，鍍膜質(zhì)量越差。一般黃金比較穩(wěn)定，可以采用空氣作為等離子氣源，而其他很多靶材則需要惰性氣體為好。氣體原子序數(shù)越高，動量越大，濺射越快，但晶粒會較粗，連續(xù)成膜的膜層較厚。保持真空室的潔凈對高質(zhì)量的鍍膜有很大好處。不要讓機械真空泵長期保持極限真空，否則容易反油。

腔體尺寸	石英玻璃，直徑150mm*高度130mm
供電規(guī)格	AC220V,200W
濺射電壓	MAX 2500V
濺射電流	MAX 30mA
靶材尺寸	直徑57mm,厚度0.1~0.5mm
適用靶材	貴金屬Pt、Au、Pt-Pd、Au-Pd、Au-Pt, 普通金屬Cu、W、Ag、Cr等

樣品臺可調(diào)高度	20-50mm
樣品臺尺寸	直徑55mm
工作真空度	1~20Pa
氣體路數(shù)	單路
補氣流量	手動調(diào)節(jié)
控制	觸屏控制
真空泵	VRD-8

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