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行業(yè)產(chǎn)品

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廣州英鵬光電科技有限公司


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全自動離子濺射儀

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參   考   價: ¥ 9999

訂  貨  量: ≥1  件

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地廣州市

包裝印刷網(wǎng)采購部電話:0571-88918531QQ:2568841715

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更新時間:2023-03-20 08:50:06瀏覽次數(shù):246次

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經(jīng)營模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:197條

所在地區(qū):廣東廣州市

聯(lián)系人:黃女士 (客服)

產(chǎn)品簡介

一般工作距離可調(diào),距離越近,濺射速度越快,但熱損傷會增加。
離子流的大小通過控制真空壓力實現(xiàn),真空度越低,I越大,濺射速度越快,原子結(jié)晶晶粒越粗,電子轟擊樣品(陽極)產(chǎn)生的熱量越高;真空度越高,I 越小,濺射速度越慢,原子結(jié)晶晶粒越細小,電子轟擊樣品產(chǎn)生的熱量小。
加速電壓為固定,也有可調(diào)的,加速電壓越高,對樣品熱損傷越大。一般使用金屬靶材的正比區(qū)域。

詳細介紹

一般工作距離可調(diào),距離越近,濺射速度越快,但熱損傷會增加。離子流的大小通過控制真空壓力實現(xiàn),真空度越低,I越大,濺射速度越快,原子結(jié)晶晶粒越粗,電子轟擊樣品(陽極)產(chǎn)生的熱量越高;真空度越高,I 越小,濺射速度越慢,原子結(jié)晶晶粒越細小,電子轟擊樣品產(chǎn)生的熱量小。加速電壓為固定,也有可調(diào)的,加速電壓越高,對樣品熱損傷越大。一般使用金屬靶材的正比區(qū)域。有些熱敏樣品,需要對樣品區(qū)進行冷卻,水冷或者帕爾貼冷卻;也可以采用磁控裝置,像電磁透鏡一樣把電子偏離樣品。經(jīng)過這樣的改造,當然會增加很高的成本??梢栽谑灡砻鏋R射一層金屬,而沒有任何損傷!真空中的雜質(zhì)越多,鍍膜質(zhì)量越差。一般黃金比較穩(wěn)定,可以采用空氣作為等離子氣源,而其他很多靶材則需要惰性氣體為好。氣體原子序數(shù)越高,動量越大,濺射越快,但晶粒會較粗,連續(xù)成膜的膜層較厚。保持真空室的潔凈對高質(zhì)量的鍍膜有很大好處。不要讓機械真空泵長期保持極限真空,否則容易反油。

價格面議


外形尺寸

424*265*260MM

輸入電壓

220V/50Hz

濺射電壓

600V

工作原理

磁控濺射

功率

4507

靶材尺寸

057*0.12MM (AU)

可選靶材

金、鉑、銀、銅、鋁、鉛等常用金屬靶材

真空泵

直連式兩級旋片式真空泵1心/S

真空室

0128*130MM高強度玻璃

極限真空

1PA(電阻式真空規(guī))

抽氣節(jié)拍

≤90S

樣品杯

00樣品杯1個/025樣品杯4個/15樣品杯6個

樣品室進氣

自動:高精度微量進氣閥

進氣接頭

O4快擰接頭(外徑4M,內(nèi)徑2.5MM氣管)

江作電流

5-45MA任意可調(diào)

顆粒大小

6-10NM

保護功能

過流保護、真空保護




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