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產(chǎn)品簡介

測量功能尺寸：包含水平距離、垂直距離、線性距離、半徑、直徑夾角：包含水平角、垂直角、夾角位置公差：包含平行度、垂直度形狀公差：包含直線度、凸度、圓弧輪廓度輔助生成：包含輔助點、輔助線、輔助圓技術(shù)參數(shù)項目參數(shù)測量范圍X軸驅(qū)動器100mmZ1（傳感器）30mm立柱行程450mm指示精度X軸（L=X軸移動導軌距離）±(1

詳細介紹

測量功能

尺寸：包含水平距離、垂直距離、線性距離、半徑、直徑

夾角：包含水平角、垂直角、夾角

位置公差：包含平行度、垂直度

形狀公差：包含直線度、凸度、圓弧輪廓度

輔助生成：包含輔助點、輔助線、輔助圓

技術(shù)參數(shù)

項目			參數(shù)
測量范圍	X軸驅(qū)動器		100mm
	Z1（傳感器）		30mm
	立柱行程		450mm
指示精度	X軸（L=X軸移動導軌距離）		±(1.2+0.02L)μm
	Z1軸（H=Z1軸方向測量高度）		±(1.0+0.05H)μm
	角度		≤±1′
	圓弧（R=標準圓弧值）		≤±(1.2+R/12)μm
X軸	直線度		1.0μm /100mm
	分辨率		0.1μm
傳感器	類型		光柵傳感器
	分辨率		0.1μm
	測針形狀		25μm 12°
	測針材質(zhì)		硬質(zhì)合金
測量方式			傳感器移動
運動控制		導軌速度	0.02mm至6mm/s
		立柱移動速度	0.1mm至10mm/s
		測量速度	0.02mm至5.0mm/s



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