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定龍門白光干涉儀

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更新時間：2026-05-10 11:30:53瀏覽次數(shù)：71次

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重慶德茲儀器有限公司

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產(chǎn)品簡介

DZBG白光干涉儀一、概述：DZBG白光干涉三維形貌儀是采用國外的白光干涉掃描技術(shù)研制的納米量級形貌測量儀器，透過精密的掃描系統(tǒng)和自主的解析算法，進(jìn)行樣品表面微細(xì)形貌的量測與分析

詳細(xì)介紹

DZBG白光干涉儀

一、概述：

DZBG白光干涉三維形貌儀是采用國外最先進(jìn)的白光干涉掃描技術(shù)研制的納米量級形貌測量儀器，透過精密的掃描系統(tǒng)和自主的解析算法，進(jìn)行樣品表面微細(xì)形貌的量測與分析。表面顯微成像能力與高精度測量的結(jié)合，只需數(shù)秒鐘，就能觀測到表面的三維輪廓、臺階高度、表面紋理、微觀尺寸以及包含各類參數(shù)的測量結(jié)果。

二、結(jié)構(gòu)設(shè)計：

標(biāo)準(zhǔn)配置采用五軸手動調(diào)整載物平臺，可依據(jù) 不同測試要求做彈性調(diào)整,并可選配電動載物平臺，以實(shí)現(xiàn)自動定位、自動聚焦、自動縫合之大面積高精度的量測要求，樣品均不需前處理即可進(jìn)行非破壞、高精度、快速的表面形貌測量和分析。

系統(tǒng)采用氣浮式隔振模塊、堅固的花崗巖和鋼結(jié)構(gòu)支撐,具有出色的穩(wěn)定性。測量過程簡便而快速, 只需把被測物體放置到載物臺，聚焦出干涉條紋，按下測量按鈕即可開始整個測量過程。

三、產(chǎn)品特點(diǎn)：

?非接觸、高穩(wěn)定性、高速度測量

?高精度測量垂直重復(fù)測量精度可達(dá)1nm垂直解析度可達(dá)0.1nm、水平解析度可達(dá)0.1um

?大面積測量自動縫合技術(shù)實(shí)現(xiàn)大面積高精度測量

?功能使用便捷的測量分析軟件PuruiVision應(yīng) 用軟件可提供多項(xiàng)測量參數(shù)

?適用范圍廣泛可以測量多種類型樣品的表面微細(xì)結(jié)構(gòu)

?真正意義的免維護(hù)及優(yōu)良的性能價格比

四、使用原理：

照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光，并由成像系統(tǒng)在CCD相機(jī)感光面形成兩個疊加的像。由于兩束光相互干涉，在 CCD相機(jī)感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據(jù)干涉條紋明暗度解析岀被測樣品的相對高度。

1、主機(jī)參數(shù)：

型號	DZBG-SID
垂直掃描范圍	0-100µm
垂直掃描速度	標(biāo)準(zhǔn)為13u m/s
CCD相機(jī)畫數(shù)	1280x1024
垂直方向分辨率	0.1nm
垂直測量重復(fù)精度	≤5nm
測量水平分辨率	0.1µm
測量面積	3.52mmX2.64mm
樣品表面反射率	≥1%
掃描方式	垂直精密掃描
測量原理	垂直掃描式白光光學(xué)干涉原理
顯微物鏡	5x
物鏡固定架	單眼固定架
顯微目鏡	0.5x
照明光源	白色LED光源
載物平臺	五維手動載物平臺
XY樣品臺尺寸	180mm×150mm
XY樣品臺移動范圍	100mm×100mm
Z軸行程	100mm
重量	55kg （III型）
外形尺寸	350 x 400 x 650cm
計算機(jī)	性能臺式計算機(jī)/19英尺液晶顯示屏
使用軟件	PuruiVision 3D測量專用軟件