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URE2000/35型自動(dòng)光刻機(jī)

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

單面自動(dòng)紫外光刻機(jī)型號(hào)：URE-2000/35（國內(nèi)主力型銷售推薦產(chǎn)品）簡(jiǎn)單介紹：光刻機(jī)：(英文名：MaskALIGENER)又名曝光機(jī),該型號(hào)光刻機(jī)創(chuàng)新采用三柔性支點(diǎn)實(shí)現(xiàn)高精度自動(dòng)調(diào)平；真空接觸自動(dòng)曝光；樣片升降、調(diào)平、接觸、曝光、復(fù)位實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制；采用創(chuàng)新技術(shù)積木錯(cuò)位蠅眼透鏡實(shí)現(xiàn)高均勻照明；可連續(xù)設(shè)定分離間隙；采用雙目雙視場(chǎng)顯微鏡實(shí)現(xiàn)高對(duì)準(zhǔn)精度

詳細(xì)介紹

單面自動(dòng)紫外光刻機(jī)

型號(hào)：URE-2000/35

（國內(nèi)主力型銷售推薦產(chǎn)品）

簡(jiǎn)單介紹：光刻機(jī)：(英文名：Mask ALIGENER)又名曝光機(jī), 該型號(hào)光刻機(jī)創(chuàng)新采用三柔性支點(diǎn)實(shí)現(xiàn)高精度自動(dòng)調(diào)平；真空接觸自動(dòng)曝光；樣片升降、調(diào)平、接觸、曝光、復(fù)位實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制；采用創(chuàng)新技術(shù)積木錯(cuò)位蠅眼透鏡實(shí)現(xiàn)高均勻照明；可連續(xù)設(shè)定分離間隙；采用雙目雙視場(chǎng)顯微鏡實(shí)現(xiàn)高對(duì)準(zhǔn)精度。整機(jī)具有性能可靠、操作方便、自動(dòng)化程度高等特點(diǎn)。

一．技術(shù)特征——非常適合工廠（效率高，操作傻瓜型，自動(dòng)型）和高校教學(xué)科研（可靠性好，演示方便）采用創(chuàng)新技術(shù)——積木錯(cuò)位蠅眼透鏡平滑衍射效應(yīng)和實(shí)現(xiàn)均勻照明；

1、采用三爪和球氣浮同時(shí)找平，無論大片、小片調(diào)平精度均高；

2、具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能；

3、自動(dòng)分離對(duì)準(zhǔn)間隙和消除曝光間隙，間隙分離可達(dá)500μm；

4、高倍率雙目雙視場(chǎng)顯微鏡和19英寸寬屏液晶顯示同時(shí)觀察對(duì)準(zhǔn)過程，并提供USB輸出；既滿足高精度對(duì)準(zhǔn)，又可用于檢測(cè)曝光結(jié)果，且曝光結(jié)果和方便存儲(chǔ)；

5、電機(jī)機(jī)構(gòu)、彈性元件和傳感器保證接觸曝光壓力合適且重復(fù)性好；

7、曝光波長(zhǎng)采用純凈365nm,冷光照明（曝光面能量15mW/cm ，溫度小于30度）；

8、對(duì)準(zhǔn)完成，自動(dòng)消除曝光間隙，無橫向漂移且可通過監(jiān)視器觀察；

9、快門可以單獨(dú)開啟，也可以數(shù)字設(shè)定自動(dòng)倒計(jì)時(shí)曝光（設(shè)定范圍0.1s-9999.9s）；

10、采用350W進(jìn)口（德國）直流汞燈，可調(diào)節(jié)光的能量密度；

11、汞燈具有高亮度和“待機(jī)"兩種方式，即曝光時(shí)采用高亮度照明，而不曝光時(shí)采用低亮度的“待機(jī)"，從而延長(zhǎng)了汞燈壽命。

12、設(shè)備外形美觀精制，性能非?？煽浚?/p>