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中國.鑫有研電子科技有限公司
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更新時(shí)間：2023-07-04 08:46:00瀏覽次數(shù)：246次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來自 包裝印刷網(wǎng)GJTQ-A氣浮式工件臺1
GJTQ-A氣浮式工件臺
1.技術(shù)參數(shù)
l X向行程：150mm、250mm等并可定制
l Y向行程：150mm、250mm等并可定制
l Z向行程：2mm
l θx向行程：±0.6°
l θy向行程：±0.6°
l θz向行程：±0.3″
l X重復(fù)定位精度：±300nm（±3σ）
l Y重復(fù)定位精度：±300nm（±3σ）
l Z重復(fù)定位精度：±300nm（±3σ）
l X向分辨力：100nm
l Y向分辨力：100nm
l Z向分辨力：100nm
l 運(yùn)動(dòng)偏擺：＜1″
l 運(yùn)動(dòng)速度：500mm/s
l 氣浮剛度：1000N/μm
2.配置
（1）機(jī)械系統(tǒng)
l 直線電機(jī)3個(gè)：荷蘭Tecnotion公司產(chǎn)品（美國Parker公司產(chǎn)品可選）
l 伺服電機(jī)3個(gè)：瑞士Maxon公司產(chǎn)品
l 光柵6套：奧地利RSF公司產(chǎn)品
l 液壓緩沖器6個(gè)：日本SMC公司產(chǎn)品
l 大理石基座1個(gè)(雙零級)
l 大理石導(dǎo)向調(diào)石1根(雙零級)
l 對沖式導(dǎo)向氣浮墊8個(gè)
l 直線電機(jī)動(dòng)子連接板3個(gè)（航天超硬鋁，7050）
l X向氣浮導(dǎo)軌1根（航天超硬鋁，7050）
l Y向氣浮導(dǎo)軌2根（航天超硬鋁，7050）
l Z向承重氣浮導(dǎo)軌1根：自主研制的無摩擦、高剛度氣浮導(dǎo)軌
l Y向?qū)驒M梁1根（航天超硬鋁，7050）
l Z向?qū)蚧善?個(gè)
l 凸輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)3套
l 真空預(yù)載氣足1個(gè)
l 工作臺面1個(gè)（航天超硬鋁，7050）
l 限位開關(guān)4個(gè)
l 氣路系統(tǒng)1套
l 線纜盒2個(gè)
（（2）電控系統(tǒng)
l 高性能多軸運(yùn)動(dòng)控制卡
l 運(yùn)動(dòng)控制卡可控制1-3軸伺服電機(jī)、步進(jìn)電機(jī)
l 運(yùn)動(dòng)控制卡可提供3路模擬控制信號和3路脈沖+方向控制信號
l 運(yùn)動(dòng)控制卡集成PCI和RS-232通訊接口
l 運(yùn)動(dòng)控制卡集成光柵計(jì)數(shù)測量模塊，可接收20MHz編碼器信號
l 模塊化開關(guān)電源適配器
l 高精度零位檢測系統(tǒng)
l 高可靠軟硬件限位保護(hù)系統(tǒng)
l 抗干擾、高可靠復(fù)位電路系統(tǒng)
l 便攜式手提控制箱
l 采用屏蔽雙絞線纜，有效抑制靜電感應(yīng)及電磁干擾。
（3）軟件系統(tǒng)
l 人性化計(jì)算機(jī)控制界面程序（提供安裝光盤，可定制）
l 高精度位置伺服復(fù)合控制程序
（4）附件
l 產(chǎn)品操作說明書（同時(shí)提供電子版）
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