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Pelcotec線寬標樣 CDMS ISO標準特征尺寸放大標樣

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更新時間：2025-09-23 10:14:09瀏覽次數(shù)：71次

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廣州競贏科學儀器有限公司

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產(chǎn)品簡介

Pelcotec CDMS ISO校準標樣是一種獨特的經(jīng)濟實惠、功能齊全、可追溯的校準標樣，可用于快速精準的掃描電鏡(SEM)、場發(fā)射掃描電鏡(FESEM)、離子束刻蝕(FIB)、CD-SEM、LM和AFM放大倍數(shù)校準。這些標樣采用的半導體和微機電系統(tǒng)(MEMS)制造技術制成，可以覆蓋廣泛的測量范圍。留言咨詢

詳細介紹

符合ISO 17025:2017標準的CDMS產(chǎn)品。NIST標準的可追溯性或單獨認證有證書。

Pelcotec™ CDMS ISO校準標樣是一種獨特的經(jīng)濟實惠、功能齊全、可追溯的校準標樣，可用于快速精準的掃描電鏡(SEM)、場發(fā)射掃描電鏡(FESEM)、離子束刻蝕(FIB)、CD-SEM、LM和AFM放大倍數(shù)校準。這些標樣采用的半導體和微機電系統(tǒng)(MEMS)制造技術制成，可以覆蓋廣泛的測量范圍。

Pelcotec™ CDMS ISO校準標樣有兩種特征尺寸范圍，分別是 Pelcotec™ CDMS-1T ISO和 Pelcotec™ CDMS-0.1T ISO，都提供可追溯和認證標樣，共有4個種：

Pelcotec™ CDMS-1T ISO: 可追溯，特征尺寸范圍為2.0毫米到1微米，放大倍數(shù)范圍為10倍到20,000倍，非常適合臺式掃描電鏡和低到中等放大應用。

產(chǎn)品編號		單位
691-1	Pelcotec™ CDMS-1T ISO，2mm – 1µm，可追溯，沒有樣品臺	個

Pelcotec™ CDMS-1C ISO: 經(jīng)過NIST標樣認證的特征尺寸范圍為2.0毫米到1微米，放大倍數(shù)范圍為10倍到20,000倍，非常適合臺式掃描電鏡和低到中等放大應用。

產(chǎn)品編號		單位
695-1	Pelcotec™ CDMS-1C ISO，2mm – 1µm，經(jīng)過認證，沒有樣品臺	個

Pelcotec™ CDMS-0.1T ISO: 可追溯，特征尺寸范圍為2.0毫米到100納米，放大倍數(shù)范圍高達10倍到200,000倍，適用于所有掃描電鏡和大多數(shù)場發(fā)射掃描電鏡應用。

產(chǎn)品編號		單位
692-01	Pelcotec™ CDMS-0.1T ISO，2mm – 100nm，可追溯，沒有樣品臺	個

Pelcotec™ CDMS-0.1C ISO: 經(jīng)過NIST標樣認證的特征尺寸范圍為2.0毫米到100納米，放大倍數(shù)范圍高達10倍到200,000倍，適用于所有掃描電鏡和大多數(shù)場發(fā)射掃描電鏡應用。

產(chǎn)品編號		單位
696-01	Pelcotec™ CDMS-0.1T ISO，2mm – 100nm，經(jīng)認證，沒有樣品臺	個

Pelcotec™ CDMS ISO標樣的特征尺寸范圍為2mm、1mm、0.5mm、0.25mm、10µm、5µm、2µm和1µm（適用于 Pelcotec™ CDMS-1T ISO 和 Pelcotec™ CDMS-1C ISO）。而Pelcotec™ CDMS-0.1T ISO 和 0.1C ISO 的特征尺寸范圍為2mm、1mm、0.5mm、0.25mm、10µm、5µm、2µm、1µm、500nm、250nm和100nm。

Pelcotec™ CDMS ISO標樣采用超平整的硅襯底制成，采用精密的50nm鉻沉積技術制造特征尺寸小于5µm的部分，而采用50nm金/20nm鉻的組合制造2µm到100nm的特征尺寸。鉻和金/鉻在硅基底上提供了的SE和BSE成像模式對比度，比刻蝕硅標樣更易于確定特征。由于硅襯底、鉻和鉻/金特征都具有導電性，因此該校準標樣不存在充電問題。由于其堅固的結構，CDMS標樣可使用等離子體清洗器進行清潔。

較小的特征尺寸被嵌套在一起，以便于導航和快速校準。特征的精度為0.3%或更高。標樣的實際尺寸為2.5 x 2.5mm，厚度為525µm ±10µm，在硅表面上沒有涂層。每個Pelcotec™ CDMS ISO校準標樣都有一個獨特的識別編號。

Pelcotec™ CDMS ISO校準標樣可供選擇不安裝或安裝在SEM樣品臺A-R上。對于AFM應用，Pelcotec™ CDMS ISO安裝在12mm的AFM圓片上，而對于LM應用，則安裝在25 x 75mm的載玻片上。也可以制備在自定義的支架上。

可選的樣品座。

	Pelcotec™ CDMS-1-ISO	Pelcotec™ CDMS-0.1-ISO
基底：硅	?	?
基底尺寸：2.5×2.5mm	?	?
基底厚度：525±10μm	?	?
序列識別號	?	?
2mm、1mm、0.5mm、0.25mm 的校準方塊	?	?
垂直于 X 軸的刻度線，間距為 10μm、5μm、2μm 和 1μm	?	?
僅高分辨率版本 – 垂直于 X 軸的附加刻度線以 500、250 和 100 nm 節(jié)距標出	—	?
特征材料：50nm Cr (2mm – 5µm)	?	?
特征材料：20nm Cr/50nm Au（2μm 和 1μm）	?	?
特征材料：20nm Cr/50nm Au（500、250 和 100nm）	—	?
可在晶圓級追溯到 NIST（ISO 17025:2017 認證標準）	T 版本	T 版本
CDMS 標樣直接獲得 NIST 標準認證（ISO 17025:2017 認證標準）	C版本	C版本
不含樣品臺	?	?
可安裝在 SEM樣品臺上	?	?
精度優(yōu)于0.3%	?	?