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廣州競贏科學(xué)儀器有限公司
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更新時間：2025-09-23 10:12:53瀏覽次數(shù)：30次
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Pelcotec CDMS-XY ISO標(biāo)樣是一種用于掃描電鏡、場發(fā)射掃描電鏡、離子束雕刻、CD-SEM、激光掃描顯微鏡和原子力顯微鏡快速、精確校準(zhǔn)的便捷工具。該標(biāo)樣提供了 X 和 Y 兩個坐標(biāo)軸的比例尺線，可在不旋轉(zhuǎn)樣品臺的情況下輕松進行二維校準(zhǔn)。留言咨詢
符合ISO 17025:2017標(biāo)準(zhǔn)的CDMS產(chǎn)品。NIST標(biāo)準(zhǔn)的可追溯性或單獨認證有證書。
Pelcotec™ CDMS-XY ISO標(biāo)樣是一種用于掃描電鏡、場發(fā)射掃描電鏡、離子束雕刻、CD-SEM、激光掃描顯微鏡和原子力顯微鏡快速、精確校準(zhǔn)的便捷工具。該標(biāo)樣提供了 X 和 Y 兩個坐標(biāo)軸的比例尺線，可在不旋轉(zhuǎn)樣品臺的情況下輕松進行二維校準(zhǔn)。
Pelcotec™ CDMS-XY ISO標(biāo)樣使用的半導(dǎo)體和微電子制造技術(shù)制成，具有的線緣質(zhì)量，可提供廣泛的測量范圍。
該標(biāo)樣有兩種特征尺寸范圍可選，分別是 Pelcotec™ CDMS-XY-1T ISO和 Pelcotec™ CDMS-XY-0.1T ISO，每個尺寸范圍都提供可追溯和認證標(biāo)樣，總共有四種：
Pelcotec™ CDMS-XY-1T ISO：特征尺寸范圍為 2.0mm 到 1um，適用于放大倍率在 10x – 20,000x 之間的臺式掃描電鏡和低到中等放大應(yīng)用。
| 產(chǎn)品編號 | 單位 | |
|---|---|---|
| 693-1 | Pelcotec™ CDMS-XY-1T ISO，2mm – 1µm，可追溯，沒有樣品座 | 個 |
Pelcotec™ CDMS-XY-1C ISO：每個標(biāo)樣均根據(jù) NIST 標(biāo)準(zhǔn)進行了單獨認證，特征尺寸范圍為 2.0mm 到 1µm，適用于放大倍率在 10x – 20,000x 之間的臺式掃描電鏡和低到中等放大應(yīng)用。
| 產(chǎn)品編號 | 單位 | |
|---|---|---|
| 697-1 | Pelcotec™ CDMS-XY-1C ISO，2mm – 1µm，已認證，沒有樣品座 | 個 |
Pelcotec™ CDMS-XY-0.1T ISO：特征尺寸范圍為 2.0mm 到 100nm，適用于所有掃描電鏡和大多數(shù)場發(fā)射掃描電鏡應(yīng)用，放大倍率可達 10 – 200,000x。
| 產(chǎn)品編號 | 單位 | |
|---|---|---|
| 694-1 | Pelcotec™ CDMS-XY-0.1T ISO，2mm – 100nm，可溯源，沒有樣品座 | 個 |
Pelcotec™ CDMS-XY-0.1C ISO：每個標(biāo)樣均根據(jù) NIST 標(biāo)準(zhǔn)進行了單獨認證，特征尺寸范圍為 2.0mm 到 100nm，適用于所有掃描電鏡和大多數(shù)場發(fā)射掃描電鏡應(yīng)用，放大倍率可達 10 – 200,000x。
| 產(chǎn)品編號 | 單位 | |
|---|---|---|
| 698-01 | Pelcotec™ CDMS-XY-0.1C ISO，2mm – 100nm，已認證，沒有樣品座 | 個 |
該標(biāo)樣的特征尺寸范圍見下表：
Pelcotec™ CDMS-XY-1T ISO 和 -1C ISO 的特征尺寸為：
2mm、1mm、0.5mm、0.1mm、50µm、10µm、5µm、2µm 和 1µm。
Pelcotec™ CDMS-XY-0.1T ISO 和 0.1C ISO 的特征尺寸為：
2mm、1mm、0.5mm、0.1mm、50µm、10µm、5µm、2µm 和 1µm、500nm、250nm 和 100nm。
可選的預(yù)先安裝在樣品座上。
| Pelcotec™ CDMS-XY-1-ISO | Pelcotec™ CDMS-XY-0.1-ISO | |
| 基底尺寸：2.5×2.5mm | ? | ? |
| 基底厚度：525±10μm | ? | ? |
| 序列識別號 | ? | ? |
| 2mm、1mm、0.5mm 的校準(zhǔn)方塊 | ? | ? |
| 垂直于 X 軸和 Y 軸的刻度線，間距為 10um、5μm、2μm 和 1μm | ? | ? |
| 高分辨率版本 – 垂直于 X 和 Y 軸的附加刻度線以 500、250 和 100 nm 節(jié)距標(biāo)出 | — | ? |
| 特征材料：50nm Cr (2mm – 5µm) | ? | ? |
| 特征材料：20nm Cr/50nm Au（2μm 和 1μm） | ? | ? |
| 特征材料：20nm Cr/50nm Au（500、250 和 100nm） | — | ? |
| 可在晶圓級追溯到 NIST（ISO 17025:2017 認證標(biāo)準(zhǔn)） | T 版本 | T 版本 |
| CDMS 標(biāo)樣直接獲得 NIST 標(biāo)準(zhǔn)認證（ISO 17025:2017 認證標(biāo)準(zhǔn)） | C版本 | C版本 |
| 不含樣品座 | ? | ? |
| 可安裝于SEM樣品臺 | ? | ? |
| 精度優(yōu)于0.3% | ? | ? |
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